硅缓冲层提高选区外延生长硅基锗薄膜质量

论文摘要

研究了Si缓冲层对选区外延Si基Ge薄膜的晶体质量的影响。利用超高真空化学气相沉积系统,结合低温Ge缓冲层和选区外延技术,通过插入Si缓冲层,在Si/SiO2图形衬底上选择性外延生长Ge薄膜。采用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）表征了Ge薄膜的晶体质量和表面形貌。测试结果表明,选区外延Ge薄膜的晶体质量比无图形衬底外延得到薄膜的晶体质量要高;选区外延Ge薄膜前插入Si缓冲层得到Ge薄膜具有较低的XRD曲线半高宽以及表面粗糙度,位错密度低至5.9×105/cm2,且薄膜经过高低温循环退火后,XRD曲线半高宽和位错密度进一步降低。通过插入Si缓冲层可提高选区外延Si基Ge薄膜的晶体质量,该技术有望应用于Si基光电集成。

论文目录

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 许怡红,王尘,陈松岩,李成

关键词: 硅缓冲层,选区外延生长,超高真空化学气相沉积,退火

来源: 半导体技术 2019年04期

年度: 2019

分类: 信息科技,基础科学,工程科技Ⅱ辑

专业: 物理学,工业通用技术及设备

单位: 厦门工学院电子与电气工程学院,厦门理工学院光电与通信工程学院福建省光电技术与器件重点实验室,厦门大学物理系半导体光子学研究中心

基金: 福建省自然科学基金资助项目(2018J05115),厦门理工学院高层次人才资助项目(YKJ16012R)

分类号: O484.1

DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2019.04.010

页码: 297-301

总页数: 5

文件大小: 1542K

下载量: 94

相关论文文献

• [1].冲击作用下混凝土板-缓冲层组合结构动力响应[J]. 人民长江 2020(03)
• [2].高位落石作用下不同缓冲层与钢筋混凝土板组合结构动力响应[J]. 水文地质工程地质 2020(04)
• [3].基于阻抗评估电缆缓冲层间隙状况的实验与分析[J]. 广东电力 2018(12)
• [4].同质缓冲层对氧化铟锡薄膜特性的影响[J]. 人工晶体学报 2013(12)
• [5].缓冲层在有机太阳能电池中的应用[J]. 化工进展 2012(02)
• [6].低温缓冲层对氧化锌薄膜质量的影响[J]. 发光学报 2008(01)
• [7].阴极缓冲层对有机太阳能器件性能的影响[J]. 南京工业大学学报(自然科学版) 2015(06)
• [8].同质缓冲层厚度对掺铝氧化锌薄膜性能的影响[J]. 电子元件与材料 2010(01)
• [9].矿用钢丝缓冲层12.00-20 20PR工程机械轮胎的设计[J]. 轮胎工业 2013(11)
• [10].基于膨胀本构的石膏岩隧道衬砌缓冲层厚度优化研究[J]. 岩土力学 2018(04)
• [11].TiO_2缓冲层对掺钨氧化钒热敏智能玻璃的制备及性能影响[J]. 真空 2011(06)
• [12].缓冲层对二次锂金属电池性能的改进及机理研究[J]. 储能科学与技术 2018(04)
• [13].具有N型缓冲层REBULF Super Junction LDMOS[J]. 物理学报 2014(22)
• [14].缓冲层对倒序铜锌锡硫薄膜太阳能电池性能的影响[J]. 唐山师范学院学报 2018(06)
• [15].电缆缓冲层烧蚀现象初步分析[J]. 电线电缆 2019(05)
• [16].新型缓冲层分区电场调制横向双扩散超结功率器件[J]. 物理学报 2014(24)
• [17].缓冲层在采空区冒落灾害中消减作用机理探讨[J]. 化工矿物与加工 2011(02)
• [18].高压电缆缓冲层材料及结构特性研究[J]. 电线电缆 2019(02)
• [19].高分子辅助化学溶液沉积制备涂层导体CeO_2缓冲层[J]. 稀有金属材料与工程 2009(S1)
• [20].掺杂对涂层超导体CeO_2缓冲层薄膜临界厚度影响的理论计算[J]. 中国科学(G辑:物理学 力学 天文学) 2009(05)
• [21].缓冲层厚度对NiFe/FeMn薄膜静态磁性能的影响[J]. 磁性材料及器件 2019(04)
• [22].MgF_2缓冲层对蓝光OLED性能的影响[J]. 光电子.激光 2014(07)
• [23].化学法动态热处理制备LZO缓冲层[J]. 稀有金属材料与工程 2013(09)
• [24].两步法溅射中缓冲层厚度对Ge薄膜质量的影响[J]. 人工晶体学报 2012(04)
• [25].图形化衬底上GaN基高温缓冲层的研究[J]. 科学技术创新 2020(32)
• [26].220 kV电缆缓冲层烧蚀缺陷射线检测方法[J]. 湖南电力 2020(05)
• [27].低温缓冲层对金刚石衬底上GaN的沉积作用[J]. 中国粉体技术 2017(06)
• [28].铜基薄膜太阳电池无镉缓冲层的研究进展[J]. 材料导报 2014(13)
• [29].YBiO_3缓冲层的化学溶液沉积法快速制备[J]. 低温与超导 2013(08)
• [30].同质缓冲层温度对ZnO薄膜质量的影响[J]. 长春理工大学学报(自然科学版) 2012(01)

标签：硅缓冲层论文;  选区外延生长论文;  超高真空化学气相沉积论文;  退火论文;