氢气、氢气/硅烷等离子体时间分辨光发射谱的研究

论文摘要

为了加深对等离子体增强化学气相沉积的认识,采用增强型电荷耦合器件(ICCD)研究了氢气及氢气/硅烷混合气体在不同气压条件下的时间分辨光发射谱,获得了辉光放电等离子体瞬态微观动力学过程的清晰图像。纯氢气辉光条件下,在一个射频周期内,H_β时间分辨光发射谱出现了4个峰。分析表明其中两个峰是由电子冲浪效应引起,额外两个峰的出现是由瞬时阳极时刻存在额外电场所致。另外,可观察到随着气压的增大,体欧姆加热效应增强。同氢气相比,当硅烷引入后,H_β时间分辨光发射谱由原来4个明显发射峰变成了两个明显发射峰。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 张发荣,张晓丹,AMANATIDES E,赵颖

关键词: 等离子体,光发射谱,微观动力学

来源: 发光学报 2019年04期

年度: 2019

分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,信息科技

专业: 化学,无线电电子学

单位: 天津职业大学生物与环境工程学院,南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学),希腊帕特雷大学等离子体技术实验室

基金: 国家自然科学基金(60506003),天津市自然科学基金(05YFJMJC01600),天津职业大学校基金项目(20171101)资助~~

分类号: O657.3;TN386.5

页码: 528-534

总页数: 7

文件大小: 1209K

下载量: 43

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