论文摘要
针对白光扫描干涉系统由于物镜景深小、干涉区间短而导致的调焦不准确、查找条纹困难、耗时长等问题,提出一种适用于白光干涉仪的自动对焦方法,该方法包括一种结合穷举法与爬山法的复合式对焦搜索算法,以及一种基于四叉树分解的粗精分步对焦评价函数。所提的搜索算法不需预先设定搜索范围,步长迭代可变,在能够快速搜索的同时具有较高的搜索精度和稳定性。所提的评价函数灵敏度较高,单峰性较好。实验结果表明,所提的自动对焦方法具有较高的对焦精度和速度,且能够在快速准确找到干涉条纹位置的同时,有效地避免由条纹以及环境噪声引起的对焦曲线多峰值问题。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 梁航,高健,黄义亮,张揽宇
关键词: 白光干涉,自动对焦,评价函数,搜索算法
来源: 半导体光电 2019年05期
年度: 2019
分类: 信息科技,基础科学
专业: 物理学,计算机软件及计算机应用
单位: 广东工业大学省部共建精密电子制造技术与装备国家重点实验室电子精密制造装备及技术教育部重点实验室
基金: 国家自然科学基金-联合基金项目(#U1601202),广东高校科研建设项目(#17ZK0091)
分类号: TP391.41;O436.1
DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2019.05.023
页码: 726-731
总页数: 6
文件大小: 1747K
下载量: 170
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