论文摘要
空间电推进、空间等离子体环境模拟技术的快速发展,离不开对等离子体参数的准确测量及可靠的量值溯源。目前,等离子体参数的校准主要是在稳定的等离子体环境中,通过被测仪器与标准进行量值比对的方式实现,因此,获得稳定的等离子体环境是开展校准技术研究的重要前提。微波ECR源具有均匀、稳定、可调节范围宽等特点,可为等离子体校准提供所需的等离子体环境。本文对一种结构紧凑的永磁型微波ECR等离子体源进行了实验研究,获得了该源的空间分布特性及稳定性。实验结果表明:本实验所采用的微波ECR源稳定性、重复性满足作为校准源的要求,可用于构建真空环境下的等离子体参数校准装置。
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文章来源
类型: 国际会议
作者: 柴昊,贾军伟,邓星亮,张书锋
关键词: 等离子体,校准,微波源,空间分布,稳定性
来源: 第十四届国际真空科学与工程应用学术会议 2019-08-04
年度: 2019
分类: 基础科学
专业: 物理学
单位: 北京东方计量测试研究所
分类号: O53
DOI: 10.26914/c.cnkihy.2019.004817
页码: 204-205
总页数: 2
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