纳秒激光与水射流耦合特性及蚀除材料实验研究

纳秒激光与水射流耦合特性及蚀除材料实验研究

论文摘要

随着激光加工技术的不断进步,各种激光复合加工技术也在不断发展,其中激光与水射流耦合加工技术有广泛的应用前景。本文进行了纳秒激光与水射流耦合特性及其蚀除材料行为各方面的研究,针对耦合过程中不同时空能量特性参数下激光与水、材料之间的相互作用过程进行分析。首先,本文研究了纳秒激光与水射流耦合区域的相关特性,总结了激光的波长、脉宽等与击穿阈值的关系,并进行了相应的实验验证,阐述了不同脉宽作用下聚焦区域自由电子密度的发展进程,在此基础上提出了激光时域脉冲序列调控的方法。对耦合腔内产生气泡的原因展开了相关的实验研究并针对此现象提出了改进方案。随后,对于纳秒激光与水射流耦合能束特性进行了研究,设计搭建了耦合能束稳定长度测量装置并进行了相关的测量实验,对不同压力、不同耦合功率下稳定长度变化的规律进行分析,检测了耦合能束截面的激光能量分布。建立了耦合能束冲击过程的相关模型,探究了加工过程中水射流对于加工区域的冲刷作用。最后,进行了纳秒激光与水射流耦合能束蚀除材料的实验研究,对于304不锈钢、碳化硅以及硅等材料进行了划槽实验。深入分析了不同压力的加工效果及其产生的原因,对比了不同加工方法加工的槽道形貌,对于纳秒激光与水射流耦合能束加工材料的使用范围进行归纳总结,验证了纳秒激光与水射流耦合能束加工的优越性。论文针对纳秒激光与水射流耦合复杂的加工环境,结合理论分析与实验研究探索了纳秒激光与水射流耦合的聚焦区域,耦合能束以及加工区域的相关特性,为激光与水射流复合加工的整体应用提供理论支撑。

论文目录

  • 摘要
  • Abstract
  • 第1章 绪论
  •   1.1 课题来源
  •   1.2 课题背景及研究的目的和意义
  •   1.3 国内外在该方向的研究现状及分析
  •     1.3.1 激光与水耦合区域特性的研究现状
  •     1.3.2 激光与水射流耦合能束特性的研究现状
  •     1.3.3 耦合能束蚀除材料的研究现状
  •   1.4 国内外研究现状综述
  •   1.5 本课题的主要研究内容
  • 第2章 纳秒激光与水射流耦合区域特性研究
  •   2.1 引言
  •   2.2 激光诱导水电离模型的建立
  •   2.3 光致电离过程分析
  •     2.3.1 自由电子密度演变过程分析
  •     2.3.2 有时域脉冲序列的激光与水作用过程分析
  •   2.4 激光诱导击穿实验
  •     2.4.1 实验用激光器
  •     2.4.2 实验结果分析
  •   2.5 激光与水射流耦合界面现象分析
  •     2.5.1 气泡产生过程分析
  •     2.5.2 气泡观测实验
  •   2.6 本章小结
  • 第3章 纳秒激光与水射流耦合能束特性研究
  •   3.1 引言
  •   3.2 耦合能束稳定长度探究
  •     3.2.1 压力变化的影响
  •     3.2.2 喷嘴周围能量分布的影响
  •   3.3 耦合能束能量分析
  •     3.3.1 光斑能量分布测量
  •     3.3.2 耦合能束激光功率测量
  •   3.4 耦合能束作用过程仿真研究
  •     3.4.1 耦合能束蚀除材料过程
  •     3.4.2 耦合能束冲击工件过程
  •   3.5 能束特性实验探究
  •   3.6 本章小结
  • 第4章 纳秒激光与水射流耦合能束蚀除材料实验
  •   4.1 引言
  •   4.2 耦合能束加工实验
  •     4.2.1 不锈钢加工实验分析
  •     4.2.2 碳化硅加工实验分析
  •     4.2.3 硅加工实验分析
  •     4.2.4 不同加工方法加工槽道形貌对比
  •   4.3 本章小结
  • 结论
  • 参考文献
  • 致谢
  • 文章来源

    类型: 硕士论文

    作者: 李靖怡

    导师: 王扬

    关键词: 激光与水射流耦合加工,纳秒激光,耦合区域,耦合能束

    来源: 哈尔滨工业大学

    年度: 2019

    分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,信息科技

    专业: 物理学,材料科学,无线电电子学

    单位: 哈尔滨工业大学

    基金: 国家重点研发计划项目“激光高精度快速复合制造工艺与设备”,项目编号:2018YFB1107600

    分类号: TB30;TN249

    DOI: 10.27061/d.cnki.ghgdu.2019.000891

    总页数: 68

    文件大小: 3806K

    下载量: 113

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