论文摘要
单晶金刚石因其独特结构而具有优异的物理化学性能,在许多科学技术领域具有潜在的重要应用价值,被广泛应用于工业、科技、国防、医疗卫生等众多领域。用化学气相沉积法实现高沉积速率、高质量、大面积的金刚石单晶的制备是目前研究的热点。本文对化学气相沉积法制备单晶金刚石的机理进行了分析,对比了化学气相沉积法合成金刚石的几种主要方法,总结了其优缺点,在已有研究工作和生产经验的基础上提出了合理化的建议,为单晶金刚石的产业化提供有价值的参考。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 潘红星,范波,闫建明,徐帅
关键词: 单晶金刚石,化学气相沉积法,合理化,产业化
来源: 化工技术与开发 2019年09期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司,超硬材料磨具国家重点实验室
分类号: TQ163
页码: 27-31
总页数: 5
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