碲镉汞(MCT)富汞液相外延技术综述

碲镉汞(MCT)富汞液相外延技术综述

论文摘要

富汞LPE是唯一能以生长方式实现As掺杂并直接激活成受主的外延技术,可在富Te水平外延生长的外延薄膜之上生长出高组分厚度为1um-3um的p型覆盖层(Cap层)形成p-on-n型组分梯度异质结构碲镉汞材料,实现碲镉汞p-on-n型组分梯度异质结构的优化设计生长。从而优化碲镉汞探测器的性能,提高碲镉汞焦平面探测器的工作温度,降低组件的体积、重量和功耗,提高可靠性,为高性能红外热像仪的应用创造更多的领域。

论文目录

  • 1 绪论
  • 2 富Hg垂直浸渍液相外延工艺特点及难点
  • 3 相图及化学缺陷
  • 4 材料的特征
  •   4.1 杂质掺杂和电学性能
  •   4.2 少子寿命
  •   4.3 组分和厚度均匀性
  • 5 器件结构及应用
  • 6 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 毛旭峰,宋林伟,吴军,张阳

    关键词: 碲镉汞,富汞,垂直液相外延

    来源: 科技风 2019年07期

    年度: 2019

    分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

    专业: 材料科学,工业通用技术及设备

    单位: 昆明物理研究所

    分类号: TB383.2

    DOI: 10.19392/j.cnki.1671-7341.201907133

    页码: 148-151

    总页数: 4

    文件大小: 1683K

    下载量: 106

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