论文摘要
利用扫描电镜、能谱分析、光学轮廓仪以及金相显微镜等测试手段对液相外延碲镉汞薄膜表面缺陷的形貌、成分和断面进行了分析,并研究了不同种类表面缺陷的特征及来源。结果表明,液相外延碲镉汞薄膜表面上存在的结晶类缺陷往往尺寸较大或成片分布,对后续器件产生明显影响。通过分析其成因可以发现,母液均匀性的提升是减少该类缺陷和提高碲镉汞薄膜质量的关键。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 杨海燕,侯晓敏,胡尚正,刘铭,曹鹏飞,赵硕
关键词: 碲镉汞,结晶类缺陷,相分离
来源: 红外 2019年07期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 材料科学,工业通用技术及设备,无线电电子学
单位: 华北光电技术研究所
分类号: TN215;TB383.2
页码: 12-17
总页数: 6
文件大小: 3228K
下载量: 38
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