论文摘要
采用朗格缪尔探针诊断装置测量电子能量和等离子体密度,利用发射光谱诊断装置测量发光强度,以判断实验腔室内的放电模式.结果表明:等离子体放电可以在E模式和H模式间相互转换,并且等离子体密度和发光强度随着射频功率的变化而出现反向滞后现象.当工作气压在0.36～0.42 Pa区间时,滞后现象不再发生.此外,随着工作气压的增大,E-H模转换的跳跃功率先减小而后增大,在工作气压为0.39 Pa时跳跃功率最低.射频功率越大,气体保持H模式放电所需气压的范围越大.研究结果可为实际工业生产中的气压控制提供参考依据.
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 熊文文,陈俊芳,王燕,王勇
关键词: 射频感应耦合等离子体,工作气压,放电,发射光谱,探针,模式转换
来源: 华南师范大学学报(自然科学版) 2019年01期
年度: 2019
分类: 基础科学
专业: 物理学
单位: 华南师范大学物理与电信工程学院
基金: 国家自然科学基金项目(61072028),广东省自然科学基金项目(S2013010012548,1015063101000048)
分类号: O461.2
页码: 16-21
总页数: 6
文件大小: 249K
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