蓝宝石衬底精密研磨加工实验研究

论文摘要

为了实现对蓝宝石晶体的高效低损伤研磨加工,对蓝宝石晶体的精密研磨加工表面粗糙度、去除率进行试验研究。采用不同粒度碳化硼磨粒双面研磨晶体,考察了研磨盘转速、加载下压力和研磨颗粒粒径对研磨加工表面质量的去除率和表面粗糙度参数的影响。实验结果表明:研磨压力和研磨盘转速是影响去除率的最大因素;在相同条件下,磨料的颗粒粒径对去除率和表面粗糙度起到关键性的作用。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 虞国良

关键词: 蓝宝石,精密研磨,表面粗糙度,实验研究

来源: 科技视界 2019年36期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 化学

单位: 浙江师范大学工学院

分类号: O786

DOI: 10.19694/j.cnki.issn2095-2457.2019.36.079

页码: 170-171

总页数: 2

文件大小: 3087K

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标签：蓝宝石论文;  精密研磨论文;  表面粗糙度论文;  实验研究论文;