论文摘要
主要对光谱共焦传感器的校准时的误差进行研究。分别利用激光干涉仪与高精度测长机对光谱共焦传感器进行测量,用球面测头保证光谱共焦传感器的光路位于测头中心,以保证光谱共焦传感器的在测量时的安装精度,然后更换平面侧头,对光谱共焦传感器进行校准。用最小二乘法对测量数据进行处理,得到测量数据的非线性误差。结果表明:高精度测长机校准时的非线性误差为0. 030%,激光干涉仪校准时的分析线性误差为0. 038%。利用最小二乘法进行数据处理及非线性误差的计算,减小校准时产生的同轴度误差及光谱共焦传感器的系统误差,提高对光谱共焦传感器的校准精度。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 闫勇刚,刘志浩,朱小平,杜华,李加福
关键词: 计量学,光谱共焦,非接触测量,误差分析,校准
来源: 计量学报 2019年S1期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,信息科技
专业: 自动化技术
单位: 河南理工大学,中国计量科学研究院
基金: 河南省高校基本科研业务费专项资金(NSFRF180332)
分类号: TP212
页码: 23-28
总页数: 6
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