多晶硅生产中的质量控制探讨

多晶硅生产中的质量控制探讨

论文摘要

多晶硅是一种高纯度的硅材料,在电子生产领域有着广泛的应用。随着近年来电子产业的发展,以及移动通讯5G时代即将来临,无疑会对于电子产品产生更加丰富的应用需求,将对多晶硅等原材料的生产提出更高的要求。所以,该文以多晶硅质量作为探讨的核心,以改良西门子法的具体应用,探讨加强多晶硅生产质量的方式,以期能够为相关领域提供些许理论借鉴。

论文目录

  • 0 引 言
  • 1 多晶硅生产工艺流程简介
  • 2 多晶硅生产各工序对产品质量影响分析及控制
  •   2.1 公用工程
  •   2.2 氢气制备工序
  •   2.3 还原工序
  •     2.3.1 原料对多晶硅质量的影响
  •       1)三氯氢硅
  •       2)氢气
  •       3)保安氮气
  •       4)硅芯
  •     2.3.2 设备洁净条件的影响
  • 3 结 语
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 苟海龙

    关键词: 多晶硅,改良西门子法,生产质量

    来源: 有色金属设计 2019年02期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑

    专业: 无机化工

    单位: 新特能源股份有限公司

    分类号: TQ127.2

    页码: 61-63

    总页数: 3

    文件大小: 108K

    下载量: 31

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