面向高温应变传感的AlN多层复合结构中声表面波传输特性分析

面向高温应变传感的AlN多层复合结构中声表面波传输特性分析

论文摘要

<正>0引言在航空航天、核电等领域中,高温部件应变的准确在线监测对于保障装备精准作业及安全生产具有十分重要的现实意义。因此,极端高温环境应变在线监测技术在近年来成为研究热点。声表面波(Surface acoustic wave:SAW)传感器以其体积小,成本低,响应快速、可批量生产和可实现无线无源测量等特点引起了人们的极大关注。针对极端恶劣环境的应用需求,本文提出了一种基于Al2O3/IDTs/AlN/金属板/Diamond多层复合结构的声表面波高温应变传感器。本文利用有限元分析方法,研究Al N多层复合

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文章来源

类型: 国内会议

作者: 范淑瑶,王文,李学玲

来源: 2019年全国声学大会 2019-09-21

年度: 2019

分类: 基础科学,信息科技

专业: 物理学,自动化技术

单位: 中国科学院声学研究所中国科学院大学

分类号: TP212;O422

页码: 357-358

总页数: 2

文件大小: 465k

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