导读:本文包含了增透膜论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:增透膜,疏水,溶胶,凝胶,波段,光刻,中波。
增透膜论文文献综述
程海娟,于晓辉,彭浪,普群雁,蔡毅[1]（2019）在《Ge基底LaF_3-ZnS-Ge高耐用中波红外增透膜》一文中研究指出研究了LaF_3材料的蒸发特性及其在2.5～12μm红外波段的光学常数,并将LaF_3晶体作为低折射率材料在Ge基底上制备了中波红外3.7～4.8μm波段高耐用性增透膜。SEM照片显示,基于LaF_3材料的高耐用性增透膜表面纳米晶粒分布均匀致密,表面光洁度高。利用傅里叶变换红外光谱仪测试了其光谱特性,在3.7～4.8μm波段,峰值透射率达到99.4%,双面镀膜平均透射率由47.7%提高到98.8%。牢固度、耐久性等环境试验结果显示,膜层在保持高的光学性能的同时还可以在较为严苛的恶劣环境中使用(本文来源于《红外与激光工程》期刊2019年11期）
叶龙强,康硕,张伟豪,张雨露,惠贞贞[2]（2019）在《溶胶-凝胶法制备SiO_2/SiO_2-TiO_2双层防雾增透膜》一文中研究指出以本征机械性能良好的溶胶-凝胶酸催化Si O2和Ti O2薄膜为基础,设计并制备了具有高透过率和良好机械性能的λ/4-λ/4 Si O2/Si O2-Ti O2双层增透膜.所得薄膜在中心波长处的峰值透过率达到99. 9%,与设计膜层的透过率曲线高度吻合.经耐摩擦和黏附性测试后,该双层增透膜峰值透过率基本保持不变,硬度高达4H,表明其具有良好的机械性能.水表面接触角测试结果显示该双层增透膜具有超亲水性,表现出良好的冷/热防雾效果.(本文来源于《高等学校化学学报》期刊2019年11期）
陈七,何峰,张树岩,张博文,张鸣奇[3]（2019）在《不同ATO掺量对SiO_2/ATO-SiO_2疏水型抗静电增透膜性能的影响》一文中研究指出采用溶胶-凝胶法分别制备SiO_2增透溶胶与疏水型抗静电薄膜溶胶。将锑掺杂氧化锡(ATO)掺入硅溶胶,并利用六甲基二硅氮烷(HMDS)对溶胶进行疏水改性。采用提拉镀膜法在玻璃表面首先制备了一层SiO_2增透膜,然后在SiO_2增透膜表面制备了一层具有疏水与抗静电性能的薄膜。结果表明:当ATO掺量在10%～20%时,双层薄膜具有比单层SiO_2增透膜更高的透过率,在可见光范围内,平均透过率最高可达93%,峰值透过率为94.6%;薄膜与水的接触角最高可达到95.7°;薄膜表面电阻在106Ω/以下。(本文来源于《硅酸盐通报》期刊2019年08期）
赵长江,左德堂,孙明悦,高剑锋,刘俊成[4]（2019）在《空间太阳电池玻璃盖片增透膜的研究》一文中研究指出增透膜在光学设备、太阳电池等方面具有广泛应用,其在空间太阳电池玻璃盖片上的应用尤其重要。介绍了单层、多层增透薄膜的增透原理、设计方案、制备方法及研究成果,并对单层及多层增透膜的研究做了总结和展望。(本文来源于《电源技术》期刊2019年06期）
乔楠,延凤平,王伟,谭思宇,李广森[5]（2019）在《基于层迭结构的双波段太赫兹超材料增透膜设计》一文中研究指出设计了一种双波段太赫兹超材料增透膜结构,该增透膜采用层迭结构,即由两层金属-聚合物构成。通过数值计算得到了两层金属-聚合物结构金属表面的电场分布,分析了两波段超低反射产生的机理,并通过优化聚合物层的厚度与金属单元结构的尺寸,实现了在0.471 THz和1.560 THz两个频点处的超低反射,反射率最低分别为0.0028和0.0025,反射率在10%以内的带宽分别为0.26 THz和0.21 THz。研究结果为实现多波段太赫兹超材料增透膜应用提供了参考。(本文来源于《中国激光》期刊2019年06期）
柳存定[6]（2019）在《球面光学元件表面193nm增透膜光谱均匀性优化技术研究》一文中研究指出以ArF准分子激光器作为光源的193nm光刻机,其半导体集成电路加工制程覆盖130 nm至22 nm,是目前以及未来长时间内半导体光刻工艺中的核心设备。在193nm光刻机设备的制造过程中,光学镀膜是一个关键步骤。为了保证光刻机的综合性能如能量利用效率、光瞳照度均匀性等,光刻机镜头镀膜必须保证高的薄膜厚度均匀性,低吸收损耗,最终实现高的透过率和透过率光谱均匀性。然而,光刻机镜头具有高达300mm以上的通光口径,部分镜头同时具有非常大的口径曲率半径比,导致镜头上薄膜厚度相差极大,单层膜的结构和光学性质也和球面光学元件上的位置密切相关。本文以数值孔径(NA)0.75的193nm光刻机为例,研究了氟化物薄膜的镀膜工艺,单层膜的光学性质,厚度均匀性修正方法以及光谱均匀性优化方法,并取得了一系列的创新成果。第一,研究了提高球面光学元件上单层膜薄膜厚度均匀性的方法,分析了挡板张角和球面光学元件上初始薄膜厚度分布的关系,阐述了增大平面挡板长度从提高球面光学元件上薄膜厚度均匀性的原理;进一步优化了薄膜沉积模型,通过修正薄膜厚度与分子束入射角余弦函数的指数,提高了薄膜厚度的实验结果和模拟结果的一致性,有效提高了薄膜厚度均匀性的修正效率。第二,研究了球面光学元件上LaF_3和MgF_2单层膜的微结构和光学性质,发现从球面光学元件的中心位置到边缘位置,单层膜柱状结构的倾角逐渐增大,倾角的数值可以通过矢量束流模型模拟。受逐渐增加的柱状结构倾角影响,从光学元件中心到边缘位置,薄膜的折射率非均匀性逐渐增大。第叁,研究了氟化物薄膜光谱的设计方法。首先分析了氟化物薄膜厚度、界面粗糙度以及折射率非均匀性的测量方法以及对氟化物增透膜光谱的影响。考虑薄膜厚度、界面粗糙度以及折射率非均匀性对薄膜厚度和折射率的影响,可以有效提高增透膜理论设计光谱和实验光谱的符合程度。用同样的方法分析了影响球面光学元件上增透膜性质的各项参数,并将不同位置光谱性质同时作为优化指标,提高了球面光学元件上增透膜光谱均匀性。本论文针对球面光学元件上氟化物单层膜结构和光学性质、薄膜厚度均匀性修正以及光谱均匀性的优化研究,可以应用到各种数值孔径的193nm光刻机镜头镀膜中,为我国193nm光刻机的研发提供了镀膜技术支撑。(本文来源于《中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所)》期刊2019-06-01）
张粉利,王杰峰,邓敬莲,孙会芳[7]（2019）在《具有自洁功能增透膜在太阳能集热管中的应用》一文中研究指出太阳能集热管表面沉积的污垢会直接影响到光线透光率,进而影响真空管的集热效率,本文研究采用溶胶-凝胶法,在太阳能真空集热管的外管上浸镀一种SiO_2涂层。结果表明,该涂层同时具有增透、防污浊性能,实现真空管增透与自洁功能一体化,使得玻璃罩管的透光率(在太阳光区间300nm～2600nm)可到95%。(本文来源于《真空》期刊2019年03期）
谭皓文[8]（2019）在《高透过率超疏水SiO_2增透膜的设计与制备》一文中研究指出在太阳能真空集热管的外玻管上镀制具有疏水性能的增透膜可以提高集热管太阳光利用效率,降低集热管在运行过程中受到的风沙、雨水和灰尘等污染并延长使用寿命。本课题通过胶液改性等手段,采用溶胶-凝胶法制备出了透过率95.37%、最大接触角达到122.75°的增透膜。主要研究内容和成果如下:为了制备具有疏水性能的增透膜,本文通过在含有甲基叁乙氧基硅烷(MTES)的胶液中利用浸渍提拉法制备增透膜和将未经疏水处理的增透膜浸入六甲基二硅氮烷(HMDS)中引入疏水基团等两种途径来改善增透膜的疏水性能。通过研究不同方法制备的增透膜表面粗糙度变化、MTES添加量及HMDS浸泡时间等因素,获得具有最佳疏水性能的增透膜。结合高分辨率扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等测试手段研究增透膜的微观结构和形貌,结果表明,陈化不同时间的增透膜表面致密度会发生改变,且粗糙度也随着陈化时间的延长先增加后减小;MTES添加量也会影响增透膜表面致密度,且随着MTES添加量的增加粗糙度呈现先增加后减小的趋势;而随着增透膜在HMDS中浸泡时间的增加,增透膜致密度同样出现改变,且粗糙度呈现先增加,然后基本不变的趋势。利用傅立叶变换红外光谱仪测试表征增透膜的微观结构,结果表明,胶液中添加MTES及增透膜浸泡HMDS都会引入疏水基团甲基取代表面亲水基团羟基,使增透膜具有疏水性能。通过紫外-可见-近红外分光光度计测量陈化不同时间、添加不同量MTES、HMDS浸泡不同时间的增透膜透过率,探究增透膜的光学性能。发现陈化不同时间的增透膜,其透过率与表面粗糙度呈线性对应关系;而增加MTES添加量和延长浸泡HMDS时间,会导致透过率一定程度的降低。结合微观结构和形貌分析可知,表面致密程度的改变是导致这一现象的原因。研究结果表明,单一改变表面粗糙度对改善增透膜疏水性能效果不明显;当MTES与正硅酸乙酷(TEOS)摩尔比为1:2时,接触角达到最大值118.00°;而将增透膜在HMDS中浸泡1h然后在160℃干燥3min后,接触角达到最大值122.75°。这主要是由于MTES和HMDS都可以引入疏水基团并取代亲水基团,从而使增透膜表面能降低,使接触角达到最大,有利于改善其疏水性能。(本文来源于《北京有色金属研究总院》期刊2019-05-05）
林兆文[9]（2019）在《深紫外到近红外宽波段增透膜的研究》一文中研究指出随着大气环境污染问题日益严重,准确监测获取环境组分信息十分重要。光谱探测技术是大气探测的有效手段,目前朝着多波段融合、多领域应用方向发展,对光谱探测器的探测精度与响应灵敏度要求越来越高。作为紫外-红外集成探测器的关键元件,高性能的光学薄膜是实现其功能的重要保障。本文对深紫外到近红外宽波段增透膜进行研制,根据材料的光学性质、物理机械特性及折射率匹配性,筛选出合理的薄膜材料与基底材料,选择Al_2O_3和AlF_3作为高低折射率材料,JGS1作为基底材料。基于增透膜设计理论,利用膜系设计软件,分析初始膜系迭代次数与平均透射率的关系,选择合理的迭代次数;在容差型评价基础上,综合考虑膜层厚度与光谱性能的要求,建立新型评价函数;采用变尺度法与隧道方法相结合的优化方法,通过改变灵敏层的厚度,解决膜系结构出现薄层的问题,降低制备难度。在薄膜制备过程中,优化电子束蒸发工艺,研究离子源工作气体对材料光谱性能及折射率的影响,选择石英晶振法监控薄膜厚度,对不同工艺条件下膜层厚度进行修正,研究高温退火工艺方法,改善了薄膜聚集密度与化学计量比,提高了薄膜稳定性。逆向反演分析实测光谱曲线结果,分析光谱曲线偏差原因,对高灵敏度膜层厚度单独修正,降低残余蒸镀对光谱影响。分析深紫外波段产生吸收的原因,对比不同迭代次数的实际制备结果,确定最终工艺参数。经光谱测试,在200~900nm波段,双面镀膜平均透射率为95.8%,实现了宽波段增透效果。经过环境测试,薄膜性能稳定满足使用要求。(本文来源于《长春理工大学》期刊2019-05-01）
乔楠[10]（2019）在《多波段太赫兹超材料增透膜的设计及特性分析》一文中研究指出工作于太赫兹波段的器件多以硅为界面,由于硅与自由空间的阻抗不匹配,造成了 30%的反射,导致了不必要的法布里-珀罗干涉条纹,从而需在硅的界面加入一层性能良好的增透膜。传统的四分之一增透膜大都以超薄金属为材料,虽可以很好地实现低反射效果,却存在着涂层过厚、损耗大和反射频段固定等缺点。超材料具有奇异的电磁特性,可以很好地克服上述缺点,故可将超材料应用于太赫兹增透膜制作领域。关于太赫兹超材料增透膜的现今研究有限,且都集中于实现单波段的超低反射。然而,实际的应用中往往会产生多波段同时低反射的需求。基于此,本文提出了两种不同结构的双波段太赫兹超材料增透膜:(1)提出了一种双波段太赫兹超材料增透膜结构,该增透膜采用层迭结构,即由两层金属—聚合物构成。通过数值计算两层金属表面之间的电场分布,分析了两波段超低反射产生的机理。通过优化聚合物层的厚度与金属单元结构的尺寸,实现了在0.47 THz和1.56 THz两个波段的超低反射,反射率最低分别为0.28%和0.25%,反射率在10%以内的带宽分别可以达到0.26 THz和0.21 THz,容差特性为±4%。并通过与单个金属结构进行对比,分析了采用层迭结构的优势。(2)提出了一种基于单层结构的双波段太赫兹超材料增透膜,该结构仅由一层金属-聚合物构成,金属图案简单。通过数值计算金属表面的电场分布,分析了双波段产生的机理,且通过数值计算金属表面的电流,得到了在第二个反射抑制谷处的等效电路,进而计算出了谐振频率。基于此谐振频率及增透膜的基础理论,在综合考虑反射率和带宽条件下,通过优化聚合物厚度和金属尺寸,实现了在0.57 THz和2.37 THz两个波段的超低反射,反射率最低分别为0.49%和0.096%,反射率在10%以内的带宽分别可以达到0.33THz和0.19THz,损耗低至20%,容差特性高达±6%,具有偏振不敏感性。该结构的双波段实现机理与层迭结构不同,为多波段太赫兹超材料增透膜提供了更多的设计思路。(本文来源于《北京交通大学》期刊2019-05-01）
增透膜论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
以本征机械性能良好的溶胶-凝胶酸催化Si O2和Ti O2薄膜为基础,设计并制备了具有高透过率和良好机械性能的λ/4-λ/4 Si O2/Si O2-Ti O2双层增透膜.所得薄膜在中心波长处的峰值透过率达到99. 9%,与设计膜层的透过率曲线高度吻合.经耐摩擦和黏附性测试后,该双层增透膜峰值透过率基本保持不变,硬度高达4H,表明其具有良好的机械性能.水表面接触角测试结果显示该双层增透膜具有超亲水性,表现出良好的冷/热防雾效果.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
增透膜论文参考文献
[1].程海娟,于晓辉,彭浪,普群雁,蔡毅.Ge基底LaF_3-ZnS-Ge高耐用中波红外增透膜[J].红外与激光工程.2019
[2].叶龙强,康硕,张伟豪,张雨露,惠贞贞.溶胶-凝胶法制备SiO_2/SiO_2-TiO_2双层防雾增透膜[J].高等学校化学学报.2019
[3].陈七,何峰,张树岩,张博文,张鸣奇.不同ATO掺量对SiO_2/ATO-SiO_2疏水型抗静电增透膜性能的影响[J].硅酸盐通报.2019
[4].赵长江,左德堂,孙明悦,高剑锋,刘俊成.空间太阳电池玻璃盖片增透膜的研究[J].电源技术.2019
[5].乔楠,延凤平,王伟,谭思宇,李广森.基于层迭结构的双波段太赫兹超材料增透膜设计[J].中国激光.2019
[6].柳存定.球面光学元件表面193nm增透膜光谱均匀性优化技术研究[D].中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所).2019
[7].张粉利,王杰峰,邓敬莲,孙会芳.具有自洁功能增透膜在太阳能集热管中的应用[J].真空.2019
[8].谭皓文.高透过率超疏水SiO_2增透膜的设计与制备[D].北京有色金属研究总院.2019
[9].林兆文.深紫外到近红外宽波段增透膜的研究[D].长春理工大学.2019
[10].乔楠.多波段太赫兹超材料增透膜的设计及特性分析[D].北京交通大学.2019
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