导读:本文包含了非平衡磁控溅射沉积论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:形状记忆合金,薄膜,纳米压入,伪弹性
非平衡磁控溅射沉积论文文献综述
徐雪波,贺耀华,贺志勇,鲍明东[1]（2013）在《非平衡磁控溅射沉积不同成分Ti-Ni合金薄膜的伪弹性研究》一文中研究指出应用非平衡磁控溅射离子镀方法沉积制备了五种不同成分的Ti-Ni合金薄膜,并在保护气体条件下于600℃进行了晶化退火处理。分析了薄膜的相结构,测定了薄膜的硬度和弹性模量,并利用纳米压入加载-卸载曲线分析研究了薄膜的伪弹性回复率,讨论了薄膜成分对硬度、弹性模量和伪弹性的影响规律。结果表明:富Ni薄膜的硬度、弹性模量和伪弹性均较高,但含Ni量达到一定值后,这些性能指标呈下降趋势。(本文来源于《表面技术》期刊2013年04期）
代海洋,翟凤潇,陈镇平[2]（2012）在《辅助气体压强比例对中频脉冲非平衡磁控溅射沉积类金刚石薄膜结构与性能的影响》一文中研究指出以高纯石墨为靶材、氩气(Ar)和甲烷(CH4)为辅助气体,利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术在不同气体压强比例下制备了类金刚石薄膜,采用原子力显微镜、拉曼光谱仪、傅立叶变换红外光谱仪、纳米压痕测试仪对所制备薄膜的表面形貌、微观结构、机械性能进行了分析。结果表明:当Ar气压强比例由17%增加到50%时,类金刚石薄膜的RMS表面粗糙度、sp3杂化键含量、纳米硬度、弹性模量随Ar气压强比例的增加而增加,当Ar气压强比例由50%增加到86%时,薄膜的RMS表面粗糙度、sp3杂化键含量、纳米硬度、弹性模量随Ar气压强比例的增加而减小。以上结果说明辅助气体压强比例对类金刚石薄膜的表面形貌、微观结构、机械性能有较大的影响。(本文来源于《真空》期刊2012年06期）
郑军,周晖,万志华,桑瑞鹏[3]（2011）在《C_2H_2气体流量对非平衡磁控溅射沉积类金刚石碳膜性能影响研究》一文中研究指出类金刚石碳膜由于其优异的减磨与抗磨损性能,在空间活动部件中显示出了极好的应用潜力,它的应用有望促进活动部件使用寿命的延长、磨损率的降低以及可靠性的提高。本文采用非平衡磁控溅射法在C2H2+Ar气体中制备了含钨类金刚石碳膜(W-C:H),并研究了不同C2H2气体含量对W-DLC性能的影响。采用拉曼光谱仪测试了薄膜的结构,纳米硬度计测试了薄膜的硬度,纳米划痕仪测试了膜与基体的附着力,球盘摩擦试验机测试了薄膜在真空中的摩擦系数和耐磨寿命。结果显示,在本试验范围内,C2H2气体含量为80sccm时薄膜的综合性能最好。(本文来源于《第叁届空间材料及其应用技术学术交流会论文集》期刊2011-09-22）
王永军,李红轩,吉利,刘晓红,吴艳霞[4]（2011）在《非平衡磁控溅射沉积类石墨碳膜结构及其摩擦学性能》一文中研究指出利用非平衡磁控溅射技术在单晶硅基底上沉积了类石墨非晶碳膜。利用X射线光电子光谱、Ram an光谱、高分辨透射电子显微镜及原子力显微镜对沉积薄膜的微观结构进行了详细表征;利用纳米压痕仪和球盘摩擦试验机分别对其力学性能和摩擦学性能进行了测试。结果表明,当前制备的非晶碳膜中sp2杂化碳占主导呈现出类石墨特征,但薄膜硬度可达14.2 GPa。大气环境中的摩擦性能测试表明,所制备的类石墨非晶薄膜具有优异的摩擦学性能:其承载能力高达2.8 GPa,同时具有较低摩擦因数(~0.05)和磨损率(~10-11cm3/Nm)。类石墨碳膜优异的摩擦学性能主要归因于其独特的结构、较低的内应力及良好的热稳定性。(本文来源于《中国表面工程》期刊2011年03期）
汪洪波,杨林生[5]（2011）在《非平衡磁控溅射沉积CrN用于液压杆件的研究》一文中研究指出目前液压杆件基本上采用电沉积的方法在基体表面沉积一层Cr膜,以此来满足其耐热、耐磨和抗腐蚀要求,但电沉积Cr不但浪费能源而且对环境和人体健康有着极大的伤害。本文利用非平衡磁控溅射的方法在45#钢表面获得6μm左右的Cr-CrN多层膜,通过对膜层进行物理性能测试、盐雾试验以及装车磨损寿命试验,结果表明利用非平衡磁控溅射方法在液压杆件基体上沉积CrN不仅可取代电沉积Cr,而且使用寿命大大提高。(本文来源于《真空》期刊2011年03期）
郑军,周晖,温庆平,万志华,桑瑞鹏[6]（2010）在《工件台偏压对非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti薄膜的结构与性能影响》一文中研究指出采用非平衡磁控溅射技术制备MoS2-Ti薄膜,研究工件台偏压对薄膜结构和性能的影响。利用XRF和XRD分析薄膜的成分和晶相结构,用CSM薄膜综合性能测试仪测试薄膜的厚度、硬度以及膜与基体的结合力,采用球-盘摩擦磨损试验机评价薄膜在真空环境下的摩擦学性能。结果表明:MoS2-Ti薄膜具有明显的(002)优势取向,薄膜中S、Mo原子比及膜厚随偏压的增加而减小,薄膜硬度及膜-基体附着力随偏压的增加而增大,薄膜在真空环境中的平均摩擦因数为0.02,受偏压影响不明显,薄膜寿命受偏压影响明显,当偏压在-100 V内变化时薄膜具有较长的寿命且随偏压的增加而增长,偏压继续增大薄膜耐磨寿命下降明显,当偏压为-200 V时薄膜不具备润滑性能。(本文来源于《润滑与密封》期刊2010年04期）
王宝云,李争显,杜继红,严鹏,姬寿长[7]（2009）在《钛合金表面非平衡磁控溅射沉积NiCoCrAlY涂层》一文中研究指出采用非平衡磁控溅射技术在TC4钛合金表面沉积N iCoCrA lY抗烧蚀涂层,分析了不同溅射工艺下沉积涂层的微观结构以及对涂层组织的影响。结果表明:溅射沉积涂层成分主要与靶材成分均匀性有关,沉积涂层的成分与靶材成分基本一致;溅射过程中由于涂层表面不均匀的择优生长,造成涂层表面粗糙度有提高的趋势,涂层表面会产生大量的微米级的颗粒状突起以及出现少量直径约十几个微米的圆丘形突起,都呈现中心高、四周低的特征。实验制备涂层厚度在7~60μm之间,组织致密,厚度均匀,与基体结合良好,涂层增厚与溅射时间呈线性关系。XRD分析说明涂层表面主要是A lN i3,A l0.9N i4.22相,其他涂层元素以非晶态存在,随涂层沉积时间延长,涂层表面晶态结构发生破坏,涂层元素之间形成的化合物相趋于消失。(本文来源于《钛工业进展》期刊2009年06期）
郑越青,王立平,陈金明,张广安,王云峰[8]（2009）在《中频非平衡磁控溅射沉积Ti-DLC膜摩擦磨损性能研究》一文中研究指出采用中频非平衡磁控溅射技术制备Ti掺杂DLC(Ti-DLC)薄膜,对该薄膜的结构、内应力、结合强度进行了分析,分析了该薄膜与不同材料(Si3N4、钢、Ti-DLC)对摩时的摩擦磨损性能。结果表明,该方法沉积的DLC薄膜具有结构致密、内应力低、结合强度较高等特点;Ti-DLC的摩擦磨损性能与对偶材料有关,Ti-DLC与Si3N4对摩时摩擦因数最低,磨损率最高;Ti-DLC与钢对摩时摩擦因数最高,且伴随明显波动;Ti-DLC与Ti-DLC对摩时磨损率最低,达到10-8量级。(本文来源于《润滑与密封》期刊2009年11期）
齐雪莲,马腾才[9]（2009）在《外切磁场对ICP增强非平衡磁控溅射沉积Cu的影响》一文中研究指出将辅助外加磁场引入到传统的非平衡磁控溅射系统中,形成一个新的磁场配置,在此基础上用ICP增强沉积了Cu膜。用ANSYS软件模拟了新磁场的空间分布。放电中的等离子体电势、电子温度、电子密度和离子密度用Langmuir探针诊断,通过比较得出应用辅助外加磁场可以增加等离子体密度和电离度。用此设备沉积了Cu膜,并用AFM、SEM和XRD等进行了检测,结果表明,引入辅助外加磁场有效的提高了Cu的性能,此系统有望应用于集成电路导电膜的制备。(本文来源于《第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集》期刊2009-07-20）
周晖,桑瑞鹏,温庆平,郑军,张凯锋[10]（2009）在《非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜的结构与真空摩擦磨损性能研究》一文中研究指出采用非平衡磁控溅射法制备MoS2-Ti复合薄膜,采用SEM、XRD和XRF对薄膜的结构进行表征,在真空球-盘摩擦试验机上评价试验载荷、转速以及基底材料种类对薄膜真空摩擦磨损性能的影响.结果表明:MoS2-Ti复合薄膜表面致密均匀,断面为细柱状结构,呈MoS2(002)基面择优取向,薄膜中Ti含量为8 wt.%,S∶Mo原子比为1.8.在真空度优于5×10-3Pa、室温环境中,当试验载荷从5 N增加至20 N时,薄膜的摩擦系数和耐磨寿命都呈减小趋势,摩擦系数变化符合赫兹接触理论模型;当试验速度从250 r/min提高至1 000 r/min时,薄膜的摩擦系数逐渐减小,耐磨寿命变化量较小;不同基体材料上薄膜的摩擦系数平均值均为0.02,9Cr18、45#钢和40Cr基材上薄膜耐磨寿命区别不大,在20~25 km之间,磨损形式为磨粒磨损,30CrMnSi上薄膜耐磨寿命明显下降,只有10.3 km,磨损形式为黏着磨损,研究结果表明如果基底材料与摩擦对偶间发生黏着磨损,会明显降低其表面沉积薄膜的耐磨寿命.(本文来源于《摩擦学学报》期刊2009年04期）
非平衡磁控溅射沉积论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
以高纯石墨为靶材、氩气(Ar)和甲烷(CH4)为辅助气体,利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术在不同气体压强比例下制备了类金刚石薄膜,采用原子力显微镜、拉曼光谱仪、傅立叶变换红外光谱仪、纳米压痕测试仪对所制备薄膜的表面形貌、微观结构、机械性能进行了分析。结果表明:当Ar气压强比例由17%增加到50%时,类金刚石薄膜的RMS表面粗糙度、sp3杂化键含量、纳米硬度、弹性模量随Ar气压强比例的增加而增加,当Ar气压强比例由50%增加到86%时,薄膜的RMS表面粗糙度、sp3杂化键含量、纳米硬度、弹性模量随Ar气压强比例的增加而减小。以上结果说明辅助气体压强比例对类金刚石薄膜的表面形貌、微观结构、机械性能有较大的影响。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
非平衡磁控溅射沉积论文参考文献
[1].徐雪波,贺耀华,贺志勇,鲍明东.非平衡磁控溅射沉积不同成分Ti-Ni合金薄膜的伪弹性研究[J].表面技术.2013
[2].代海洋,翟凤潇,陈镇平.辅助气体压强比例对中频脉冲非平衡磁控溅射沉积类金刚石薄膜结构与性能的影响[J].真空.2012
[3].郑军,周晖,万志华,桑瑞鹏.C_2H_2气体流量对非平衡磁控溅射沉积类金刚石碳膜性能影响研究[C].第叁届空间材料及其应用技术学术交流会论文集.2011
[4].王永军,李红轩,吉利,刘晓红,吴艳霞.非平衡磁控溅射沉积类石墨碳膜结构及其摩擦学性能[J].中国表面工程.2011
[5].汪洪波,杨林生.非平衡磁控溅射沉积CrN用于液压杆件的研究[J].真空.2011
[6].郑军,周晖,温庆平,万志华,桑瑞鹏.工件台偏压对非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti薄膜的结构与性能影响[J].润滑与密封.2010
[7].王宝云,李争显,杜继红,严鹏,姬寿长.钛合金表面非平衡磁控溅射沉积NiCoCrAlY涂层[J].钛工业进展.2009
[8].郑越青,王立平,陈金明,张广安,王云峰.中频非平衡磁控溅射沉积Ti-DLC膜摩擦磨损性能研究[J].润滑与密封.2009
[9].齐雪莲,马腾才.外切磁场对ICP增强非平衡磁控溅射沉积Cu的影响[C].第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集.2009
[10].周晖,桑瑞鹏,温庆平,郑军,张凯锋.非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜的结构与真空摩擦磨损性能研究[J].摩擦学学报.2009