硫系红外玻璃的抛光工艺研究

论文摘要

为研究锗砷硒(Ge22As20Se58)硫系红外玻璃的最佳抛光参数,比较了CeO2抛光液和Al2O3抛光液、聚氨酯抛光模和黑色阻尼布作为抛光垫时的优劣性。通过4因素3水平的正交实验,采用古典法平摆式磨抛技术研究锗砷硒玻璃的抛光工艺,使用Taylor Hobson粗糙度轮廓仪和Zygo Newview 8200对抛光后的锗砷硒玻璃表面粗糙度进行检测。研究结果表明:相比较于聚氨酯抛光模,黑色阻尼布作为抛光垫时玻璃未产生划痕,抛光时Al2O3抛光液的抛光效果优于CeO2抛光液,锗砷硒玻璃表面粗糙度可达2.59nm,得到了最佳抛光工艺。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 刘兴龙,李宏,郭忠达,阳志强,李世杰

关键词: 锗砷硒玻璃,表面粗糙度,平摆式抛光,正交实验

来源: 西安工业大学学报 2019年04期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 西安工业大学光电工程学院

基金: 陕西省重点研发计划项目(2017ZDXM-GY-122),陕西省教育厅重点实验室科研计划项目(17JS047)

分类号: TQ171.684

DOI: 10.16185/j.jxatu.edu.cn.2019.04.005

页码: 394-399

总页数: 6

文件大小: 249K

下载量: 163

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