论文摘要
高频光电导测量硅单晶寿命的方法在国内半导体材料行业广泛使用,经过长期的实践积累了丰富的经验。本文试图就方法原理、仪器性能要求、测试结果的处理以及如何提高测量的重复性进行了深入分析。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 王昕,田蕾,李俊生,叶灿明,王世进
关键词: 直流光电导法,高频光电导法,注入比,少数载流子寿命,载流子复合寿命
来源: 仪器仪表用户 2019年08期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,信息科技,工程科技Ⅰ辑
专业: 化学
单位: 广州市昆德科技有限公司
分类号: O613.72;O73
页码: 18-21+44
总页数: 5
文件大小: 1547K
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