导读:本文包含了电磁型平面微电机论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:微电机,电磁,平面,工艺,电势,力矩,线圈。
电磁型平面微电机论文文献综述
杨志斌,黎海文,吴一辉[1]（2004）在《基于ML4426的电磁型平面微电机转速控制》一文中研究指出针对电磁型平面微电机结构小,无法安装位置传感器等特点,采用美国MicroLinear公司生产的无位置传感器无刷直流电机专用控制芯片ML4426对电机转速进行控制。详细叙述了该芯片工作原理及其在电磁型平面微电机中的应用。结果表明,控制简单实用,线性度好,精度高。(本文来源于《微电机(伺服技术)》期刊2004年06期）
郭占社[2]（2003）在《基于微机械工艺的电磁型平面微电机的研究》一文中研究指出论文针对纳卫星(重量低于10公斤)和皮卫星(重量低于1公斤)中飞轮姿态控制、执行元件对微电机输出力矩、角动量、体积、重量和使用寿命等的需求，提出了基于体硅微机械加工工艺的单定子—双转子结构平面电磁微电机的设计思想。 较深入地研究了以LIGA工艺、硅深刻蚀工艺为主的平面绕阻的高深宽比、批量化制作方法。在厚胶光刻工艺中重点解决了胶膜厚度的均匀性、胶膜与衬底的粘附性、大厚度差胶层的曝光、显影条件等的优化问题。 在电铸工艺中，摸索出获得颗粒均匀、致密度高的金属绕组线圈的电铸工艺条件，给出了电铸电流的波形、频率、占空比及电极电压，并对衬底表面不平整度对电铸效果的影响进行了详细分析，解决了电铸过程中光刻胶与电铸液兼容性的问题。 通过对电机绕组及电机旋转过程，以及对此类电磁型平面微电机在旋转过程中产生的感生电势、感生电流、平均输出力矩、极限转速等机械特性指标的分析，给出了电机转速、输出力矩等输出特性的计算公式。 电磁型平面微电机输出力矩测试利用了自行研制的非接触式力矩测试仪，通过VC++编制串口程序，实现了电子天平与计算机串口的数据传输；利用windows高精度定时器，实现了较高频率读取的计算机软件实现；利用间接测量法，解决了测量半径未知情况下测量半径的计算方法；对仪器的测量精度进行了较深入研究，给出了输出力矩误差公式。仪器对电磁型平面微电机的测试结果表明：在驱动电压为3V时，电机输出力矩达到300μN.m，转速与输出力矩之间基本符合线性关系。(本文来源于《中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）》期刊2003-05-01）
郭占社,吴一辉,宣明,王淑荣[3]（2003）在《电磁型平面微电机及其制作工艺》一文中研究指出为得到一种尺寸小、输出力矩大、转速高的直流可调速微电机,提出了一种利用微机械加工工艺制作微电机的方法。定子和转子都做成平面结构,定子线圈采用了平面型、无槽式集中绕组;线圈之间采用了叁相星形连接方式,采用了微机械LIGA工艺和硅微机械加工工艺;转子采用钕铁硼永磁材料,进行轴向充磁,成辐射状间隔分布。装配时转子分布于定子两侧,不但减小了电机尺寸,还有利于定子的散热。把装配完毕的微电机接通叁相半控控制电路对其转速和力矩进行了测试,测试结果表明,电机运转平稳,输出力矩大。(本文来源于《光学精密工程》期刊2003年02期）
车录锋,吕琼莹,王立鼎[4]（1996）在《电磁微电机中平面微线圈磁场分布特性的研究》一文中研究指出本文分析了电磁微电机中平面微线圈产生的空间磁场，把微线圈等效为几何圆电流和矩形截面电流，导出了空间磁场的计算公式，接着通过四种算法的比较，建立了平面微线圈空间磁场快速准确的数值算法，最后分析了平面微线圈空间磁场的分布特性。(本文来源于《功能材料与器件学报》期刊1996年03期）
电磁型平面微电机论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
论文针对纳卫星(重量低于10公斤)和皮卫星(重量低于1公斤)中飞轮姿态控制、执行元件对微电机输出力矩、角动量、体积、重量和使用寿命等的需求，提出了基于体硅微机械加工工艺的单定子—双转子结构平面电磁微电机的设计思想。 较深入地研究了以LIGA工艺、硅深刻蚀工艺为主的平面绕阻的高深宽比、批量化制作方法。在厚胶光刻工艺中重点解决了胶膜厚度的均匀性、胶膜与衬底的粘附性、大厚度差胶层的曝光、显影条件等的优化问题。 在电铸工艺中，摸索出获得颗粒均匀、致密度高的金属绕组线圈的电铸工艺条件，给出了电铸电流的波形、频率、占空比及电极电压，并对衬底表面不平整度对电铸效果的影响进行了详细分析，解决了电铸过程中光刻胶与电铸液兼容性的问题。 通过对电机绕组及电机旋转过程，以及对此类电磁型平面微电机在旋转过程中产生的感生电势、感生电流、平均输出力矩、极限转速等机械特性指标的分析，给出了电机转速、输出力矩等输出特性的计算公式。 电磁型平面微电机输出力矩测试利用了自行研制的非接触式力矩测试仪，通过VC++编制串口程序，实现了电子天平与计算机串口的数据传输；利用windows高精度定时器，实现了较高频率读取的计算机软件实现；利用间接测量法，解决了测量半径未知情况下测量半径的计算方法；对仪器的测量精度进行了较深入研究，给出了输出力矩误差公式。仪器对电磁型平面微电机的测试结果表明：在驱动电压为3V时，电机输出力矩达到300μN.m，转速与输出力矩之间基本符合线性关系。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
电磁型平面微电机论文参考文献
[1].杨志斌,黎海文,吴一辉.基于ML4426的电磁型平面微电机转速控制[J].微电机(伺服技术).2004
[2].郭占社.基于微机械工艺的电磁型平面微电机的研究[D].中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）.2003
[3].郭占社,吴一辉,宣明,王淑荣.电磁型平面微电机及其制作工艺[J].光学精密工程.2003
[4].车录锋,吕琼莹,王立鼎.电磁微电机中平面微线圈磁场分布特性的研究[J].功能材料与器件学报.1996
论文知识图
