新型拉晶炉在硅芯制备中的应用

论文摘要

介绍了一种新型拉晶炉,采用直拉法拉制大直径硅棒,然后切割成方硅芯。该种拉晶炉一次性出硅芯数量多,弯曲度可控,表面附着力强,可大幅提高硅芯的生产效率。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 王玉亮

关键词: 硅芯制备,拉晶炉,方硅芯,热场

来源: 太阳能 2019年03期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 北京北方华创真空技术有限公司

分类号: TQ127.2

页码: 73-75

总页数: 3

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标签：硅芯制备论文;  拉晶炉论文;  方硅芯论文;  热场论文;