论文摘要
现有微立体光刻技术制备的压电陶瓷普遍存在密度小、性能低、几何精度难以精确控制等问题。本文通过设计陶瓷浆料各组分之间的成分比例,控制光固化参数和热处理工艺,建立几何形变的数学预测和补偿模型,制备了致密性高、形状复杂的压电陶瓷,提高了压电陶瓷在光固化、脱脂、烧结过程中的几何精度。实验表明:当压电陶瓷（PZT-5H）浆料质量分数为75%时,坯体烧结后的密度为7.35 g/cm3;在2 kV/mm的极化电压下,压电常数d33为600 pC/N,相对介电常数为2875,性能得到提升;经过几何形变补偿,压电陶瓷的几何精度可以提高80%。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 张园豪,陈韦岑,吴大伟
关键词: 微立体光刻,压电陶瓷,几何精度,形变补偿,压电性能
来源: 电子元件与材料 2019年04期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑
专业: 电力工业
单位: 南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室
基金: 国家自然科学基金面上项目(51675278),机械结构力学及控制国家重点实验室开放课题(MCMS-0317G01)
分类号: TM282
DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2019.04.012
页码: 77-82
总页数: 6
文件大小: 1838K
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