导读:本文包含了薄膜反射率论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:倒装LED,分布式布拉格反射镜,双金属层电极,环形叉指
薄膜反射率论文文献综述
吕家将,刘星童[1]（2019）在《基于高反射率DBR薄膜的倒装LED电极结构优化设计》一文中研究指出为提升LED芯片的光提取效率和电流扩展能力,设计了双金属层环形叉指结构ITO/DBR电极的大功率倒装LED芯片,并对分布式布拉格反射镜(DBR)薄膜和环形叉指电极结构进行了仿真优化计算。利用TFcalc软件仿真计算了DBR堆栈方式、堆栈周期和参考波长对DBR反射率的影响。仿真结果表明,优化设计的双堆栈DBR薄膜在234nm宽波长范围内反射率均高于95%,对应蓝黄光区域(440～610nm)平均反射率高达98.95%,参考波长红移可以缓解DBR反射偏振效应。利用SimuLED软件仿真计算了电极结构对芯片电流扩展能力的影响。仿真结果表明,350mA电流输入情况下,单金属层电极电流密度均方差为44.36A/cm2,而双金属层环形叉指数目为3×3时,电流密度均方差降至14.37A/cm2。双金属层环形叉指电极降低了p、n电极间距,减小了电流流动路径,芯片电流扩展性能明显提升。(本文来源于《半导体光电》期刊2019年06期）
叶鹏,邵琪珺,丁响[2]（2019）在《曲线型薄膜表面反射率计算》一文中研究指出生活中经常需要利用一些变色效应来达到美观的效果,比如常规彩瞳在透明夹层中加入颜料来实现彩色效果、变色镜片中掺入卤化银达到光致变色效果等。利用镀膜技术在晶片表面生成一层薄膜,利用光学薄膜本身的增反特性也能实现彩色效果。这样的工作由于涉及到微纳薄膜工艺,具有极高的加工难度。本文尝试为这样的工作作一定的先期计算,即曲线型薄膜表面对应不同波长时的反射率情况。计算结果表明,镀膜的厚度对反射光波长有很好的选择性。(本文来源于《内江科技》期刊2019年08期）
刘佳敏,张林,江浩,刘世元[3]（2018）在《基于椭偏与反射率测量的超薄膜光学常数与厚度表征方法》一文中研究指出由于超薄膜的光学常数与厚度之间存在强相关性,仅采用光谱椭偏测量(SE,Spectroscopic Ellipsometry)分析来同时确定其光学常数与厚度是极其困难的。为了有效解耦这种强相关性,以准确地获取超薄膜的光学常数与厚度,我们提出了一种椭偏参数与反射率(R,Reflectivity)的协同分析方法。该方法的实质在于:利用与样品相对应的正向光学模型,对所测椭偏参数和反射率同时进行逐点拟合,从而获取超薄膜的光学常数与厚度。为了验证上述方法的有效性,我们选择Si基底上超薄Cu薄膜作为研究对象,利用穆勒矩阵椭偏仪(ME-L,武汉颐光科技有限公司)在60°、65°和70°入射角下测量了该样品在1.24eV～4.96eV范围内的椭偏参数与反射率,继而采用上述反演策略提取出Cu薄膜层的厚度与光学常数,拟合效果如图1所示。在上述入射角下,所测Cu薄膜层的平均厚度为17.2nm,而采用TEM(Transmission Electron Microscope)测得Cu薄膜层的平均厚度为17.7nm,两测量结果在误差许可范围内的一致性充分反映了该方法是准确有效的。考虑到椭偏参数和反射率易于被反射式椭偏仪测量得到,此方法对表征非透明基底上超薄膜的光学常数与厚度具有极大的应用潜力。(本文来源于《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》期刊2018-08-20）
马一博,王梅玲,王海,袁佩,范燕[4]（2016）在《基于GIXRR反射率曲线的二氧化硅纳米薄膜厚度计算》一文中研究指出为了快速、准确得到纳米薄膜厚度,采用Kiessig厚度干涉条纹计算薄膜厚度的线性拟合公式,计算了不同系列厚度(10~120nm)的二氧化硅薄膜。薄膜样品采用热原子层沉积法(T-ALD)制备,薄膜厚度使用掠入射X射线反射(GIXRR)技术表征,基于GIXRR得到的反射率曲线系统讨论了线性拟合公式计算薄膜厚度的步骤及影响因素,同时使用XRR专业处理软件GlobalFit2.0比较了两种方法得到的膜厚,最后提出一种计算薄膜厚度的新方法-经验曲线法。结果表明:峰位级数对线性拟合厚度产生主要影响,峰位级数增加,厚度增大;峰位对应反射角同样对线性拟合厚度有较大影响,表现为干涉条纹周期增大,厚度减小。但峰位级数及其对应反射角在拟合薄膜厚度过程中引入的误差可进一步通过试差法,临界角与干涉条纹周期的校准来减小。对任意厚度的同一样品,线性拟合和软件拟合两种方法得到的薄膜厚度具有一致性,厚度偏差均小于0.1nm,表明线性拟合方法的准确性。在厚度准确定值的基础上提出薄膜厚度与干涉条纹周期的经验关系曲线,通过该曲线,可直接使用干涉条纹周期计算薄膜厚度,此方法不仅省略了线性拟合过程中确定峰位级数及其对应反射角的繁琐步骤,而且避免了软件拟合过程中复杂模型的建立,对快速、准确获得薄膜厚度信息具有重要的意义。(本文来源于《光谱学与光谱分析》期刊2016年10期）
朱茂东[5]（2016）在《基于二氧化钒薄膜相变特性的可变反射率镜设计与制备》一文中研究指出单晶VO2会随着温度变化在68°C时发生单斜相到四方相的一级相变,其低于68°C时,VO2为半导体态,呈现出高的红外透射率;而高于68°C时,VO2为金属态,呈现出低的红外透射率,且二氧化钒的相变温度可以通过多种方式进行调控。这些特性吸引了大量的研究者的兴趣。本论文提出的基于二氧化钒薄膜相变特性的可变反射率镜,可以实现通过调节温度来调节红外光反射率,具有创新意义。首先在钠钙玻璃上采用反应磁控溅射技术制备了掺钨VO2薄膜,并研究了沉积温度对掺钨二氧化钒薄膜光电特性的影响。研究发现,在400°C较低的沉积温度条件下制备的掺钨VO2薄膜不具备相变特性,而480°C以上的基底温度条件下制备的掺钨VO2薄膜为M相,显示出了较优的光电特性。通过在掺钨VO2薄膜制备过程中添加基底负偏压的方式,在400°C基底温度环境下,成功制备出了光电特性较为优异的掺钨VO2薄膜。研究发现,较大的基底负偏压会使得薄膜样品的颗粒变大,相变温度减小。其中,较合适的基底负偏压位于-100V~-200V之间,该偏压范围条件下制备出的掺钨VO2薄膜表现出了较强的红外截止能力。利用磁控溅射法在钠钙玻璃基底上制备出了ZnO缓冲层,在不同厚度的ZnO缓冲层上生长了VO2薄膜,并研究了这些薄膜样品的光电特性。结果表明,添加ZnO缓冲层有利于提高VO2薄膜的可见光透射率,对太阳能透射率的调制效果也得到很大提高。进一步在400℃的沉积温度下,尝试在ZnO/NaCa glass基底上制备具有相变特性的VO2薄膜,采用在基底添加负偏压的方式来制备VO2薄膜,并研究了不同的基底负偏压对VO2薄膜相变特性的影响。结果表明,随着基底负偏压的变大,薄膜内应力不断增大,最大为-576MPa,VO2薄膜的相变温度表现出了下降趋势,最低达到38.5℃,远低于单晶VO2的相变温度(68℃)。最后,在上述研究的基础上,以高折射率的VO2薄膜和低折射率的ZnO薄膜为主要膜层材料,以椭偏测得的薄膜光学常数为参数,设计了中心波长1050nm的可变反射率镜,并采用反应磁控溅射技术在NaCa玻璃上进行了制备。表征结果表明,制备出的可变反射率镜,在不同温度下表现出了不同的反射率,达到了预期的目标。(本文来源于《深圳大学》期刊2016-06-30）
董建勇,艾曼灵,金波,顾培夫[6]（2016）在《一种具有对称性和自校准的薄膜透反射率仪》一文中研究指出基于反射率测量原理,提出了一种具有对称性和自校准的薄膜透反射率测量仪器。仪器具有两个照明系统和两个光收集系统,并分别对称地置于样品台的两侧,测量时测量光线依次经过照明系统、样品和光收集系统。由于该设计具有对称性,因而可消去光学系统的不对称误差,而且可实现自校准功能,同时获得垂直入射情况下薄膜的反射、透射和光学损耗。(本文来源于《光学仪器》期刊2016年03期）
龚洪勇,黄海宾,周浪[7]（2015）在《晶体硅金字塔绒面结构圆化对其光反射率和非晶硅薄膜钝化效果的影响》一文中研究指出(001)晶体硅金字塔绒面结构圆化有提高光反射率与提高非晶硅薄膜钝化效果的相互矛盾的双重作用,定量了解它们对优化非晶硅/晶体硅异质结太阳电池的绒面结构圆化程度很有必要。本文以表面粗糙度Rz相对下降百分数定量表征晶体硅衬底表面金字塔绒面结构圆化程度DR,研究了DR值对等离子体化学气相沉积氢化本征非晶硅薄膜钝化效果的改善作用,发现除圆化初期效果异常高以外,二者之间基本呈线性正比关系;相对改善作用随钝化膜变薄而显着提高。同时测定了DR值对金字塔绒面光反射率的影响,发现反射率基本随DR值线性增大。典型结果为:6%绒面结构圆化程度下,金字塔绒面的光反射率绝对值提高3%;其表面7 nm厚的氢化本征非晶硅薄膜可达到使硅片少数载流子寿命相对未圆化绒面样品提高260%。(本文来源于《人工晶体学报》期刊2015年04期）
夏雷敏,缪惟民[8]（2015）在《“智能调节透反射率节能玻璃膜项目”通过住建部科技成果评估——记上海紫东薄膜材料股份有限公司》一文中研究指出由住房和城乡建设部科技发展促进中心专门组织并成立的专家委员会,于2015年2月7日上午,在北京主持召开了对由上海紫东薄膜材料股份有限公司研发的"智能调节透反射率节能玻璃膜"项目进行科技成果评估。该委员会专家涉及到建筑门窗、门窗幕墙、建筑标准、分析测试、工程应用、塑料加工等多个领域,具体有北京中新方建筑科技研究中心教授级高工刘忠伟、中国建筑标准设计研究院教授级高工顾泰昌、中国建筑金属结构协会铝门窗幕墙委(本文来源于《塑料包装》期刊2015年02期）
叶源[9]（2014）在《利用磁过滤阴极真空弧沉积技术制备太阳能高反射率薄膜材料》一文中研究指出作为当前备受瞩目的可再生新能源之一，太阳能的利用一直是世界范围内的研究热点。太阳能光热发电是一种主流的太阳能利用方式，但其效率受制于核心部件聚光系统。针对聚光系统的研究已进行了一百余年，目前制约其聚光效率进一步提高的关键因素之一就是聚光系统中反射镜镜面面形的精度控制。具有优异可成型性和高反射率的薄膜反射材料是解决这一问题的较好方法。磁过滤阴极真空弧沉积技术（FCVAD）是一种广泛应用于精密薄膜的薄膜制备方法，相比于其他薄膜制备方法具有成膜粒子均匀、沉积能量高等诸多优势，制备的薄膜具有薄膜质量高、附着力好的优点。本文创新性将FCVAD技术引入制备太阳能高反射率薄膜材料，分别在玻璃和聚酯薄膜（PET）基材上制备了纳米级别的铝薄膜，探讨了弧流、负压、占空比和沉积库仑数等FCVAD参数对反射率及膜厚的影响，利用紫外-可见-近红外分光光度计、扫描电镜、台阶仪、拉脱法附着力测试仪等多种表征手段对所制备反射材料的反射性能、表面形貌和结构、膜厚以及薄膜附着力进行了相应的研究。结果表明：以玻璃作为基材时，铝膜的厚度和反射性能主要受弧流、负压、占空比和沉积库仑数等FCVAD参数的影响。其中，铝膜厚度与沉积库仑数之间存在极好的线性正相关关系，与弧流呈正相关关系，与负压和占空比则呈负相关关系。这些参数对于铝膜厚度的影响主要通过影响成膜粒子大小、空间结构致密性和表面排列实现。铝膜反射率与沉积库仑数之间的关系符合软件模拟结果。在一定范围内反射率随负压的增大迅速增大，负压到达一定值后保持稳定，继续增大则再次下降。弧流对于反射率的影响并不显着，在弧流较小范围内反射率随弧流的增大反射率大幅增大，但随后基本保持稳定。反射率随占空比的增大呈振荡下降的趋势。以上参数对于铝膜反射率的影响主要通过对成膜颗粒平均粒径、薄膜空间结构致密性、薄膜表面均匀性和缺陷情况以及薄膜有效光学厚度、光学常数的影响来实现。同时，此情况下制备的反射材料薄膜附着力完全满足实用要求。与磁控溅射技术相比，FCVAD制备反射薄膜在性能上具有显着优势。最后，对PET进行了离子注入+离子束混合表面预处理之后再采用FCVAD技术进行铝膜的沉积，探索了以聚合物为基底的柔性太阳能高反射率薄膜材料的制备，研究了表面预处理对该反射材料反射性能和薄膜附着力的影响。(本文来源于《华南理工大学》期刊2014-05-20）
蔡其文[10]（2012）在《高反射率太阳能薄膜反射材料的性能研究及膜系设计》一文中研究指出随着世界范围内能源的短缺和环境问题的加剧，以太阳能为主的可再生能源的研究、开发和利用日益得到重视。太阳能发电主要有太阳能光热发电和太阳能光伏发电两种方式。对于太阳能热发电系统，其核心设备包括聚光集热装置、反射镜传动和跟踪系统；其中聚光系统包括定日镜群和跟踪装置，成本占总投入的50%以上。聚光系统中的反射材料在太阳能中高温应用系统以及聚光光伏系统中有着广泛的应用，它的好坏直接决定了太阳能光伏电池的转换效率与热发电的成本。高反射率的材料是提高上述过程太阳能利用率的关键。本文采用直流磁控溅射法在玻璃基材上分别制备了纳米Ag和Al薄膜，并采用射频磁控溅射法在其上镀一层SiO_2薄膜作为保护层，利用紫外可见近红外分光光度计测定了薄膜对可见光区（380~780nm）、太阳光区（300~2500nm）的反射率；用EssentialMacleod光学薄膜分析与设计软件对Ag-SiO_2和Al-SiO_2反射薄膜进行了设计模拟，并对薄膜进行了耐磨性测试、附着力测试、抗老化性测试和退火处理等实验。结果表明，薄膜的反射率曲线呈周期性变化，当银膜的厚度为130nm和二氧化硅的为320nm或400nm时，膜反射率最高，太阳光和可见光反射率分别为96.66%和98.84%，并且膜材的耐磨性和抗老化性良好。过渡层Cu能增加Ag与玻璃基底的附着力。退火能提高膜材料的反射率；真空退火在350℃时反射率最大，随着退火温度的升高，反射率略有下降，但都比未退火时高。空气中退火，温度低于250℃时反射率比退火前有所提高，300℃以上反射率明显下降，甚至低于未退火时的。Al膜厚度选择为50nm较合适，且当SiO2保护膜的厚度为230nm时，反射率为89.50%。模拟计算结果与实验结果基本一致。无保护层的Al膜反射率比有SiO2保护层的高，但自身氧化形成的氧化铝薄膜会导致反射率减小，且其反射率随着氧化铝厚度的增加而减小（70nm之内）；当其厚度极薄时（0~30nm），太阳光反射率由91.13%稍降为88.41%，这对铝的反射率影响甚小。最后，设计及制备了薄膜：Glass/Ag(130nm)+SiO_2(400nm)+TiO_2/Air，探索了TiO_2的制备工艺及退火处理对薄膜亲水性的影响。(本文来源于《华南理工大学》期刊2012-05-01）
薄膜反射率论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
生活中经常需要利用一些变色效应来达到美观的效果,比如常规彩瞳在透明夹层中加入颜料来实现彩色效果、变色镜片中掺入卤化银达到光致变色效果等。利用镀膜技术在晶片表面生成一层薄膜,利用光学薄膜本身的增反特性也能实现彩色效果。这样的工作由于涉及到微纳薄膜工艺,具有极高的加工难度。本文尝试为这样的工作作一定的先期计算,即曲线型薄膜表面对应不同波长时的反射率情况。计算结果表明,镀膜的厚度对反射光波长有很好的选择性。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
薄膜反射率论文参考文献
[1].吕家将,刘星童.基于高反射率DBR薄膜的倒装LED电极结构优化设计[J].半导体光电.2019
[2].叶鹏,邵琪珺,丁响.曲线型薄膜表面反射率计算[J].内江科技.2019
[3].刘佳敏,张林,江浩,刘世元.基于椭偏与反射率测量的超薄膜光学常数与厚度表征方法[C].第十七届全国光学测试学术交流会摘要集.2018
[4].马一博,王梅玲,王海,袁佩,范燕.基于GIXRR反射率曲线的二氧化硅纳米薄膜厚度计算[J].光谱学与光谱分析.2016
[5].朱茂东.基于二氧化钒薄膜相变特性的可变反射率镜设计与制备[D].深圳大学.2016
[6].董建勇,艾曼灵,金波,顾培夫.一种具有对称性和自校准的薄膜透反射率仪[J].光学仪器.2016
[7].龚洪勇,黄海宾,周浪.晶体硅金字塔绒面结构圆化对其光反射率和非晶硅薄膜钝化效果的影响[J].人工晶体学报.2015
[8].夏雷敏,缪惟民.“智能调节透反射率节能玻璃膜项目”通过住建部科技成果评估——记上海紫东薄膜材料股份有限公司[J].塑料包装.2015
[9].叶源.利用磁过滤阴极真空弧沉积技术制备太阳能高反射率薄膜材料[D].华南理工大学.2014
[10].蔡其文.高反射率太阳能薄膜反射材料的性能研究及膜系设计[D].华南理工大学.2012