论文摘要
微机电系统（MEMS）陀螺的模态谐振频率和品质因子具有较强的温度敏感性,使得MEMS陀螺的输出零偏随温度漂移。为了解决零偏随温度漂移问题,提出了一种基于MEMS微机械陀螺的驱动谐振频率做温度基准的零偏温度补偿方法。温度在-40～60℃范围内变化,经多次循环测量陀螺零偏,获得零偏与温度之间的变化关系,并在此基础上,对零偏进行建模分析。利用谐振频率与温度的线性关系,以驱动谐振频率为温度参考,对陀螺零偏进行实时温度补偿。实验结果表明:上电零偏稳定性由补偿前的143. 81°/h变为补偿后的26. 51°/h,降低了5. 42倍;温度在-40～60℃范围内变化,补偿前后的零偏稳定性分别为1368. 05°/h和62. 86°/h,降低了22倍。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 刘玉县,汤丽,陈婷,何春华
关键词: 微机电系统陀螺,驱动谐振频率,零偏,实时温度补偿
来源: 传感器与微系统 2019年05期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑
专业: 机械工业
单位: 广东顺德创新设计研究院,北京大学微电子学研究所微纳加工国家重点实验室
基金: 国家自然科学基金资助项目(61434003)
分类号: TH-39
DOI: 10.13873/J.1000-9787(2019)05-0052-03
页码: 52-54+58
总页数: 4
文件大小: 546K
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