论文摘要
为实现纳米级的定位精度,通过精密控制电机定/动子间的正压力和相对运动速度,以实现电机在一个周期内的精密步进运动。首先,在研究电机步进运动原理的基础上,设计了具有法向振动框特征的驱动足结构,可以获得驱动端法向振动和切向振动的独立解耦特性;其次,利用有限元法对定子驱动足进行了参数优化设计,获得了定子驱动足的主要结构尺寸;最后,制作电机样机并进行了定子振动特性实验和电机特性实验。定子振动特性实验结果表明:该电机在1～400Hz范围内能够使得驱动阶段和回程阶段具有不同的运动特性,上述两个运动阶段的动子运动位移差即为电机的运动步距,因而该电机具有更小的位移分辨率。机械输出特性实验结果表明:该电机在1～400Hz范围内分别具有微、纳米级步进运动特性,在1～30Hz内电机的位移分辨率最高可达11nm。综上,该电机在400Hz以内能实现微纳米定位精度,电机速度最高可达63.3μm/s。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 陈西府,李明,卢倩,黄卫清
关键词: 直线电机,压电作动器,步进运动,纳米级分辨率,非共振
来源: 振动.测试与诊断 2019年01期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑
专业: 电力工业
单位: 盐城工学院机械工程学院,广州大学机械与电气工程学院
基金: 国家自然科学基金资助项目(51405420,51375224,51805465),江苏省自然科学基金资助项目(BK20140474),江苏省高校优秀中青年教师和校长境外研修计划资助项目,江苏高校“青蓝工程”资助人才项目(苏教2018-12)
分类号: TM359.4
DOI: 10.16450/j.cnki.issn.1004-6801.2019.01.030
页码: 209-216+231
总页数: 9
文件大小: 2173K
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