导读:本文包含了超精密表面论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:精密,微结构,表面,加工,动力学,干涉仪,单晶硅。
超精密表面论文文献综述
颜志涛,王素娟[1]（2019）在《超精密车削表面仿真与评价集成系统的研究》一文中研究指出表面形貌仿真是实现高效高精度的超精密加工技术必不可少的研究方法。为了减少在理论模型的计算和表面形貌的仿真分析时间,并且实现仿真结果与测量结果的直接对比,提出一种将理论模型的仿真结果与测量仪器的分析软件进行集成的方法,并开发集成系统。文章通过研究超精密车削加工表面形貌的影响因素,基于Matlab和Bruker Wyko Vision软件,建立超精密车削加工表面仿真与评价的集成系统,为超精密车削加工工艺提供指导。通过车削加工实验中仿真和测量数据的对比结果表明,所开发的集成系统可有效应用于超精密加工领域中加工形貌仿真、加工质量评价、分析等。(本文来源于《组合机床与自动化加工技术》期刊2019年10期）
廖路,傅刚,喻甫军[2]（2019）在《单晶硅表面微结构的超精密车削成型技术》一文中研究指出采用超精密切削加工方法进行单晶硅表面微结构制备,实验获得了一组优化的工艺参数,并在此基础上开展了不同类型微结构的超精密切削成形实验,分别获得了金字塔阵列、V形槽阵列和正弦波阵列等不同结构,证明了在单晶硅表面制备出微结构能够使得表面反射率大大降低。(本文来源于《机械工程师》期刊2019年10期）
楚翀,张晓峰,王文升,夏志辉[3]（2019）在《表面微观V形槽的超精密加工技术研究》一文中研究指出表面微观V形槽是一种常见的微结构形式,应用广泛,加工精度要求高。对表面微观V形槽的超精密加工技术进行了研究,应用单点金刚石切削,分析刀具角度、切削参数、装夹方式、冷却润滑条件、进刀轨迹等影响加工质量的因素,并通过切削试验进行验证。通过试验,在平面和曲面上分别加工出了高精度表面微观V形槽,实现了微结构的超精密加工。(本文来源于《机械制造》期刊2019年06期）
王旭,赵萍,吕冰海,袁巨龙[4]（2019）在《滚动轴承工作表面超精密加工技术研究现状》一文中研究指出滚动轴承的工作表面包括套圈滚道表面和滚动体表面,其表面质量直接影响轴承的精度和性能。对滚动轴承工作表面超精密加工技术的发展概况和最新研究进展进行了介绍和分析,为进一步探索在线电解磨削、电化学磨削、双电解磨削和力流变抛光等技术在轴承加工中的重点应用提供参考。(本文来源于《中国机械工程》期刊2019年11期）
管允劼,李祥,陈东生[5]（2019）在《圆柱表面微结构超精密车削加工技术研究》一文中研究指出辊筒模具是加工微结构阵列光学薄膜的关键零件,辊筒表面由大量微结构构成,其表面的微结构通过UV固化技术复制到光学薄膜上,可以实现许多新型光学功能。在该技术中,辊筒模具表面数量庞大的微结构超精密加工质量是保证压印加工质量的关键和难点。为此,利用自主研发的光鼓车加工微V槽型辊筒,分析并解决了刀具、程序、加工表面等方面的关键技术难点,得到了预期的微结构效果。(本文来源于《制造技术与机床》期刊2019年06期）
董增文[6]（2019）在《超精密加工表面创成机理研究》一文中研究指出超精密加工主要包括超精密车削、超精密铣削和超精密磨削等,已广泛应用于国防军工、航空航天和其它高科技领域,其能加工出纳米级表面粗糙度及亚微米级形状误差的零件,是现代制造业发展的重要支撑和基础。超精密加工表面创成机理直接决定被加工表面质量,但受众多因素影响。其中,机床主轴振动、刀具磨损、加工参数及材料属性是决定超精密加工表面创成质量的关键因素。然而,目前国内外超精密加工表面创成机理的研究尚存在不足之处。为此,本文针对超精密加工表面创成机理展开相应的理论与实验研究,着重探讨上述关键因素对超精密加工表面创成的影响。本文主要的研究工作包括以下叁点:(1)以超精密加工主轴振动对表面创成的影响为研究对象,提出和建立了一种广义动力学模型以准确描述不同超精密加工过程中主轴振动对表面形貌的影响。为了检验理论结果的正确性,分别设置和进行了一系列超精密金刚石车削(UPDT)实验、超精密铣削(UPRM)实验和超精密磨削(UPG)实验以对该模型进行验证。通过对实验中超精密加工的表面形貌进行检测,发现在超精密金刚石车削中,由恒定切削力引起的谐波性主轴振动会使被加工表面产生周期性图案。在超精密铣削中,由周期性脉冲切削力引起的脉冲性主轴振动会在被加工表面产生准周期性图案。在超精密磨削中,由随机脉冲切削力引起的部分脉冲主轴振动使被加工表面产生了的部分随机图案。最终得出结论:主轴振动系统具有线性和谐波特性,包括轴向主轴振动,径向主轴振动和耦合倾斜主轴振动。其动态响应由超精密加工中切削力的外部激励决定。所建立的广义动力学模型准确地描述了上述叁种不同超精密加工过程中的主轴振动,其对表面形貌影响的理论分析和实验结果具有良好一致性。(2)以超精密加工刀具磨损对表面创成的影响为研究对象,基于超精密金刚石刀具铣削易加工材料Zn-Al-Cu合金,利用BSEM和XRD技术检测相位,结合纳米压痕实验测试纳米硬度,用SEM技术观察DTW特征,通过光学分析测量系统检测加工表面的表面形貌和表面粗糙度。分析试验结果发现,在超精密铣削Zn-Al-Cu合金时,高速切削下淬火和相析出现象同时发生,即加工表面上会发生双相变化;超精密铣削下产生的外部应力引起了相变,进而改变了材料的性能。在高速切削条件下,变形厚度甚至小于100 nm;金刚石刀具后刀面磨损会促进相变,增强表面硬化,增加相变厚度从而降低表面质量,因为后刀面磨损会引起较高的外部应力,而前刀面则情况相反。论文就正交切削进行的有限元模拟对之有着良好验证。(3)以超精密加工参数及材料属性对表面创成的影响为研究对象,基于超精密磨削难加工材料锆基金属玻璃实验,揭示了其表面粗糙度创成规律。首先在Precitech公司的Freeform L型超精密五轴轮廓机床上对锆基金属玻璃进行了一系列超精密磨削实验;通过介入磨削实验,研究了金属玻璃磨削过程的材料去除机理。在此基础上,采用正交法,设置不同切削参数对锆基金属玻璃进行了一系列平面磨削实验,并运用激光干涉形貌仪,X射线衍射仪(XRD),原子力显微镜(AFM)等仪器对表面形貌进行检测和分析。采用边加工边用冷却液冷却的方法对锆基金属玻璃进行超精密磨削加工,然后通过XRD检测,结果发现,加工后的材料均未发生表面晶化现象,这是保证锆基金属玻璃可磨性的重要前提;介入磨削实验清晰揭示了金属玻璃磨削工艺下材料去除过程包括韧性去除机理和脆性去除机理,临界切削深度是以上两种去除机理转变的关键参数;本文中超精密磨削锆基金属玻璃创成的表面粗糙度可达30nm以下,比文献中报道的普通磨削方式优于一个数量级。通过正交实验得出的切削参数对表面粗糙度创成的影响规律,可为进一步提高超精密磨削表面精度提供技术路线参考和工艺借鉴。(本文来源于《南昌大学》期刊2019-05-23）
石广丰,韩冬冬,史国权,付旺,王淑坤[7]（2019）在《超精密车削单晶锗表面性能分析》一文中研究指出单晶锗是典型的红外光学晶体材料,其加工表面的评价方法大都局限于面形精度,而加工过程所产生的位错及晶面间距变化也会影响单晶锗的使用性能。为了全面地评价单晶锗加工后的表面性能,通过表面粗糙度轮廓仪、X射线衍射仪等设备,对超精密车削的单晶锗平面及曲面进行了表面粗糙度和X射线检测,获得了针对单晶锗平面的表面粗糙度与位错密度相结合的性能评价方法,及针对单晶锗曲面的表面粗糙度与晶面间距变化程度相结合的性能评价方法。相关研究对单晶锗在红外光学及其它领域的加工应用有重要意义。(本文来源于《红外技术》期刊2019年03期）
高尚,耿宗超,吴跃勤,王紫光,康仁科[8]（2019）在《石英玻璃超精密磨削加工的表面完整性研究》一文中研究指出为了实现石英玻璃的高效低损伤超精密磨削加工,研究不同粒度金刚石砂轮磨削石英玻璃的表面和亚表面质量,建立表面粗糙度与亚表面损伤深度之间的关系模型。通过石英玻璃磨削试验研究400#、1 500#、2 000#和5 000#金刚石砂轮磨削石英玻璃的表面微观形貌、表面粗糙度及其亚表面损伤深度,分析相应的材料去除方式;基于压痕断裂力学理论分析脆性域磨削石英玻璃时工件表面微观形貌和亚表面微裂纹的形成机理,建立表面粗糙度PV值和亚表面损伤深度SSD之间的定量关系。研究结果表明:随着砂轮粒度的减小,石英玻璃磨削表面的凹坑、微裂纹、深划痕等缺陷逐渐减少,表面粗糙度Ra和PV以及亚表面损伤深度SSD均随之明显减小,从400#砂轮磨削表面的R_a 274.0 nm、PV 5.35μm和SSD 5.73μm降低至5 000#砂轮磨削表面的Ra 1.4 nm、PV 0.02μm和SSD 0.004μm。500#和1 500#砂轮磨削表面的材料去除方式为脆性断裂去除,2 000#砂轮磨削表面的材料去除方式同时包括脆性断裂去除和塑性流动去除,但以塑性流动去除为主,5 000#砂轮磨削表面的材料去除方式为塑性流动去除;脆性域磨削石英玻璃的表面粗糙度PV与亚表面损伤深度SSD之间满足SSD=(0.627～1.356) PV~(4/3)的数学关系。(本文来源于《机械工程学报》期刊2019年05期）
章少剑,熊智文,董增文[9]（2018）在《超精密加工表面生成技术开发与应用》一文中研究指出针对超精密加工表面生成机理的抽象性和复杂性问题,提出表面生成建模方法,并应用于超精密加工实验教学中,弥补超精密加工实验数量不足。该方法既直观地展示超精密加工表面形貌特征,又充分地呈现超精密加工参数对表面生成的影响。从车削表面生成的构建与仿真到较复杂的飞刀铣削表面生成的建模与仿真,让学生认知超精密加工表面生成机理,加深理解超精密加工参数的影响机制,培养学生科学问题的探索能力和科研兴趣。(本文来源于《实验技术与管理》期刊2018年11期）
陶明方[10]（2018）在《超精密切削铝亚表层缺陷演变及其对表面洁净影响研究》一文中研究指出当超精密切削加工实现纳米级去除材料时,工件亚表层缺陷结构对工件的加工质量和使用寿命等都有直接影响。基于铝材料的优点,金属铝被广泛应用于高能激光系统的组件中,对其加工表面质量和洁净性具有很高的要求。因此,从分子和原子层面研究亚表层缺陷结构的演变过程,对提高加工表面质量和解释工件表层污染具有理论和实际意义。基于分子动力学仿真理论,本文进行了真空中金属铝的切削仿真,研究切削机理和切削现象。主要研究工件亚表层缺陷结构的演变特征,分析应力诱导位错形核扩展的机制;通过统计亚表层缺陷原子数目和计算原子占比,研究切削深度对亚表层晶体结构变化的影响。对于多晶铝的切削仿真,重点分析了晶界对位错滑移扩展的阻碍作用、以及晶界和位错对切削力波动和应力分布的影响。建立水介质中金属铝的切削仿真模型,对比相同参数下真空中的仿真结果,研究水介质对工件亚表层晶体结构变化的影响,发现水介质中位错积聚时间较长;通过观察切削过程中水介质在工件和刀具之间的分布,分析工件表面应力和温度的分布状态,揭示水介质能够有效减弱刀具后刀面对材料的黏着现象,并且降低工件的整体温度;进一步分析了切削过程中切削力的变化,分析水介质对切削力变化和波动幅度的影响。建立有机介质中单晶铝的切削仿真模型,详细分析了叁种加工环境中单晶铝亚表层位错演变过程,进一步分析水介质和有机介质的冷却润滑性能;通过分析亚表层不同晶体结构原子数目的变化、表面原子的排列、表面应力的分布和表面有机物的残留量,研究切削深度对亚表层晶体结构变化、表面质量以及表面洁净的影响规律;同时在单晶铝工件表面上建立不同宽度的矩形槽,以模拟已经存在的缺陷对加工表面质量和表面洁净的影响,从微观层面分析工件内部产生污染源的过程。最后进行不同切削深度下的金属铝的超精密车削实验,对试件的表面粗糙度和表面成分进行检测,分析工件的加工表面质量与表面洁净的关系。(本文来源于《哈尔滨工业大学》期刊2018-06-01）
超精密表面论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
采用超精密切削加工方法进行单晶硅表面微结构制备,实验获得了一组优化的工艺参数,并在此基础上开展了不同类型微结构的超精密切削成形实验,分别获得了金字塔阵列、V形槽阵列和正弦波阵列等不同结构,证明了在单晶硅表面制备出微结构能够使得表面反射率大大降低。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
超精密表面论文参考文献
[1].颜志涛,王素娟.超精密车削表面仿真与评价集成系统的研究[J].组合机床与自动化加工技术.2019
[2].廖路,傅刚,喻甫军.单晶硅表面微结构的超精密车削成型技术[J].机械工程师.2019
[3].楚翀,张晓峰,王文升,夏志辉.表面微观V形槽的超精密加工技术研究[J].机械制造.2019
[4].王旭,赵萍,吕冰海,袁巨龙.滚动轴承工作表面超精密加工技术研究现状[J].中国机械工程.2019
[5].管允劼,李祥,陈东生.圆柱表面微结构超精密车削加工技术研究[J].制造技术与机床.2019
[6].董增文.超精密加工表面创成机理研究[D].南昌大学.2019
[7].石广丰,韩冬冬,史国权,付旺,王淑坤.超精密车削单晶锗表面性能分析[J].红外技术.2019
[8].高尚,耿宗超,吴跃勤,王紫光,康仁科.石英玻璃超精密磨削加工的表面完整性研究[J].机械工程学报.2019
[9].章少剑,熊智文,董增文.超精密加工表面生成技术开发与应用[J].实验技术与管理.2018
[10].陶明方.超精密切削铝亚表层缺陷演变及其对表面洁净影响研究[D].哈尔滨工业大学.2018
论文知识图
![多焦点菲涅尔透镜[33]](http://image.cnki.net/GetImage.ashx?id=1012000315.nh0005&suffix=.jpg)
