导读:本文包含了薄膜微结构论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:微结构,薄膜,金刚石,光子,晶体,单点,氧化钨。
薄膜微结构论文文献综述
王林青,周永涛,王军军,刘雪芹[1]（2019）在《氢稀释比对磁控溅射低温(100℃)沉积氢化微晶硅薄膜微结构特性的影响（英文）》一文中研究指出在低温(100℃)条件下采用磁控溅射在玻璃和硅(100)衬底上沉积氢化微晶硅(μc-Si:H)薄膜,研究不同氢稀释比对微晶硅薄膜微结构特性的影响。结果表明:薄膜从非晶相过渡到了微晶相当氢稀释比增加到约50%,氢化微晶硅薄膜的结晶率随氢稀释比从40%增加到70%先增加后趋于稳定;薄膜的表面粗糙度随着氢稀释比的增加而增加,氢含量的变化趋势与之相反;所制备的氢化微晶硅薄膜都具有(111)择优取向,与氢稀释比无关,且薄膜结构致密。(本文来源于《Journal of Central South University》期刊2019年10期）
张静如,涂华恬,臧恺岩,胡二涛,张荣君[2]（2019）在《基于W双十字形微结构的太阳能选择性吸收薄膜的数值研究（英文）》一文中研究指出提出一种基于金属-介质六层膜的高太阳辐射吸收的新型双十字形微结构,计算显示其加权平均吸收率在截止波长前的光谱区约为96.5%,850K温度的辐射率为0.086.通过场图分析对太阳能波段的光热吸收机制进行了探讨.不同入射角情况下的计算结果显示,基于双十字形微结构的太阳能选择性吸收薄膜可具有低偏振依赖性,以及小于50°入射角条件下的低入射角依赖性特点,将能够满足太阳能选择性吸收器件的应用需求.(本文来源于《红外与毫米波学报》期刊2019年05期）
陈隆,陈成克,李晓,胡晓君[3]（2019）在《氧化对单颗粒层纳米金刚石薄膜硅空位发光和微结构的影响》一文中研究指出制备了单个颗粒(domain)组成的纳米金刚石薄膜,薄膜中单个颗粒由尺寸超过100 nm的金刚石晶粒与非晶碳复合而成.对薄膜进行氧化处理后,其硅空位色心的光致发光强度增强了22.7倍.扫描电镜及拉曼光谱测试结果表明,不同时间氧化后的样品中存在由尺寸超过100 nm的晶粒组成的花瓣状金刚石聚集体,这些金刚石在较长氧化时间下仍能保持稳定.氧化后的薄膜内非晶碳大大减少,金刚石含量增大,纳米金刚石晶粒充分暴露引起了薄膜发光强度大幅增强,其发光半峰宽为5.6—6.0 nm.继续增加氧化时间,薄膜的光致发光会因为部分细小纳米金刚石晶粒的损失而略微降低,但是稳定的大尺寸金刚石晶粒的存在使得薄膜的发光强度依然维持在氧化前的8.3倍以上.(本文来源于《物理学报》期刊2019年16期）
蒋梅燕,朱政杰,陈成克,李晓,胡晓君[4]（2019）在《硫离子注入纳米金刚石薄膜的微结构和电化学性能》一文中研究指出采用热丝化学气相沉积法制备纳米金刚石薄膜,并对薄膜进行硫离子注入和真空退火处理.系统研究了退火温度对薄膜微结构和电化学性能的影响.结果表明,硫离子注入有利于提升薄膜的电化学可逆性.在800°C及以下温度退火时,薄膜中晶界处的非晶碳相逐渐向反式聚乙炔相转变,致使电化学性能逐渐变差.当退火温度上升到900°C时, Raman光谱和TEM结果显示此时薄膜中金刚石相含量较多且晶格质量较好,晶界中的反式聚乙炔发生裂解; X射线光电子能谱结果表明,此时C—O键、C=O键、p—p*含量显着增多; Hall效应测试显示此时薄膜迁移率与载流子浓度较未退火时明显升高;在铁氰化钾电解液中氧化还原峰高度对称,峰电位差减小至0.20 V,电化学活性面积增加到0.64 mC/cm~2,电化学可逆性远好于600, 700, 800°C退火时的样品.(本文来源于《物理学报》期刊2019年14期）
葛少博,刘卫国,周顺,杨鹏飞,李世杰[5]（2019）在《薄膜微结构的近红外透射诱导增强特性》一文中研究指出在SiNx薄膜中引入微金字塔结构,综合利用包含界面的薄膜光学微结构的折射、衍射与干涉现象,实现透反射的调控.通过单点金刚石切削与纳米压印、等离子体各向异性刻蚀技术相结合,将大面积、高效率、低成本的微结构制备方法推广至光学薄膜中,实现了多种尺寸的金字塔薄膜微结构的制备,结构单元尺寸可以在1.5～10μm之间进行调控.光谱特性检测结果表明,SiNx薄膜微金字塔结构阵列在近红外至长波红外波段,表现出超宽波段的减反射特性;在0.8～2.5μm的近红外波段,反射率低于1.0%;在3～5μm的中红外波段,反射率小于2.5%;在10～12μm长波红外波段,平均反射率低于5%;与传统的四分之一波长抗反射膜系相比,SiNx薄膜微金字塔结构阵列的减反射效果的实现,无需膜系设计时的折射率匹配,简化了膜系结构.研究发现SiNx薄膜微金字塔结构阵列的近红外透射诱导增强特性,高度为2～4μm的SiNx薄膜微金字塔结构阵列,均在2.1μm波长处出现明显的透射诱导增强效应,且高为4μm,底宽为8μm的微金字塔结构阵列的透射增强作用最为明显,透射率达到了96%以上.实验检测与仿真分析证明,透射增强的位置和强度由微结构的形貌尺寸及其结构比例关系决定.(本文来源于《光子学报》期刊2019年07期）
文国知[6]（2019）在《含硅量子点的碳化硅薄膜制备工艺和微结构表征研究》一文中研究指出采用等离子体增强化学气相沉积法制备了氢化非晶富硅碳化硅薄膜。通过在高温750℃,900℃,1050℃,和1200℃进行热退火处理,薄膜样品晶化出硅量子点。利用傅立叶红外光谱仪(FTIR)对样品化学键进行了分析。利用X射线衍射(XRD)和拉曼散射光谱仪(LabRAM)对样品微结构随温度的演化进行了表征。利用高分辨透射电镜(HRTEM)和选区电子衍射(SAED)对1050℃退火样品微结构进行了表征。研究发现,在退火温度低于900℃时,薄膜以非晶织构存在。当退火温度从900℃增加到1050℃时,硅(Si)原子从非晶Si_(1-x)C_x织构析出,形成硅量子点。硅量子点的平均尺寸从3.1 nm增加到4.0 nm。(本文来源于《武汉轻工大学学报》期刊2019年03期）
肖莉莉[7]（2019）在《微结构全彩色氧化钨电致变色薄膜的构筑及应用》一文中研究指出电致变色是材料的光学特性(折射率、消光系数等)在外加电压的作用下发生稳定、可逆变化的现象,在外观上表现为材料的颜色及透明度发生改变。电致变色材料是一种新型功能材料,其光学特性调控范围并非仅局限在可见区,也包括近红外、中远红外甚至微波区等。电致变色材料凭借其独特的光学调控特性,在信息、电子、能源、建筑以及国防等领域展现出广阔的应用前景和巨大的产业价值,受到科学界和产业界的广泛关注。无机氧化物电致变色材料通常具有制备工艺简单、稳定性高等优点,但存在柔性差、响应速度慢、色彩单一的问题,限制了它在高性能柔性器件和全彩色显示方面的应用。研究表明,构筑微纳结构(如纳米柱、纳米棒等)的电致变色材料和薄膜是实现高性能柔性电致变色器件(Electrochromic Devices,ECDs)的有效途径。该类薄膜具有较大的活性比表面积和有序的离子通道,有利于电解液与电致变色材料的充分接触,且能大大缩短离子的扩散路径,从而显着提高材料的电致变色性能(特别是响应速度)。同时,微纳结构也有利于消除膜内应力,提高薄膜的机械性能和弯折稳定性。本文以经典电致变色材料WO_3为研究对象,发展了掠角蒸发沉积方法,对薄膜的微结构进行精确调控,大幅提高了柔性WO_3薄膜的响应速度和弯折稳定性。在此基础上,针对无机电致变色材料颜色变化单一的关键难题,我们首次通过构建单一材料的电致变色布拉格反射镜(Electrochromic Distribute Bragg Reflectors,ECDBRs),实现了WO_3薄膜的彩色化,并进一步研究了其在可调谐发光器件及全彩色稳态显示方面的应用。本论文的主要研究内容及结论如下:(1)提出采用掠射角蒸发(Glancing Angle Deposition,GLAD)技术,精确调控薄膜微观结构的简单有效方案,并进一步实现了高性能柔性ECDs。研究表明:WO_3薄膜的形貌、折射率、孔隙率等参数可以通过简单的改变蒸发掠射角(衬底法线与蒸发源之间的夹角)加以调控。随着掠射角的增加,WO_3薄膜微观结构从致密无序转变为纳米柱有序,且折射率降低、孔隙率增加、比表面积增大、耐弯折性增强。其中,75°掠射角得到的纳米柱薄膜具有出色的抗反射性能、优异的柔韧性和电致变色性质。与致密薄膜相比,纳米柱结构薄膜的透过率提高8.4%,平均响应时间显着缩短(18.6/10.3 s vs.2.1/2.5 s)。同时,纳米柱薄膜在弯折1000次后,电致变色性质无明显降低。该研究解决了微观结构精确控制和传统器件透过率低、成本高(需要额外抗反射涂层、工艺复杂)的难题,为低成本、高性能、柔性ECDs的构筑提供参考。(2)提出利用光子晶体结构色和电致变色双重效应,构筑ECDBRs、调控材料光学特性的学术思想,在国际上首次采用单一材料WO_3研制出快速响应的彩色化电致变色薄膜、并成功应用于稳态显示器件及可逆的电调谐微腔发光器件。该ECDBRs由连续交替沉积的纳米柱状和致密的WO_3薄膜(折射率差为0.41@550 nm)组成。在±1.1 V的电压下,其反射波长可在宽达72 nm的范围内快速可逆调控。进一步,通过将其集成到微腔器件中,成功实现了可逆的电调谐微腔量子点发光器件。在-0.9 V电压下,该微腔器件的发射峰位,峰值强度和半高全宽的最大调制范围分别达到15.5 nm,0.8~317%和10.4 nm。其优异的发光可调谐性能归功于电刺激诱导WO_3的光学常数发生可逆改变,从而调控微腔器件的发射模式。该研究不仅为高性能电响应光子晶体的构建提供简单有效的方案,也为实现可调谐光子/光电子器件提供了新思路。(3)提出采用低折射率、离子传导特性的多孔LiF与高折射率、致密的电致变色材料WO_3制备ECDBRs,实现快速响应全彩色电致变色稳态显示器件的新方法。致密WO_3层与多孔LiF层的折射率差高达0.56,保证ECDBRs以更少的层数获得更高的反射率,3对薄膜的反射率高达87.8%,优于单纯的WO_3膜层。同时,LiF层提供大量自由移动的锂离子,提高显示器件的响应速度和着色效率。通过对电极进行图形化,实现快速响应的电致变色稳态显示器件,器件具有反射显示和透射显示能力,且两种显示可自由切换。该研究成功克服了传统ECDs颜色变化单一、响应速度慢的难题,有望发展成为具有自主知识产权的新一代节能型显示新技术。(本文来源于《中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所)》期刊2019-06-01）
夏旭[8]（2019）在《零维二维纳米材料协同改性聚酰亚胺复合薄膜微结构与电学性能研究》一文中研究指出聚酰亚胺因其优异的绝缘性能、机械性能以及热稳定性能被广泛应用于变频电机、集成电路、燃料电池、航空航天等领域。本文利用零维纳米SiO_2、Al_2O_3和二维纳米BN的独特结构与性能,对聚酰亚胺进行单独以及协同改性:采用原位聚合法设计制备了组分为5%、10%、15%、20%的PI/SiO_2、PI/Al_2O_3、PI/BN和PI/BN+Al_2O_3复合薄膜,对比研究其微结构、电学性能、热学性能及耐电晕老化机理。零维纳米SiO_2、Al_2O_3平均粒径分别约为7.5 nm和13.0 nm,SiO_2表面带负电、Al_2O_3表面带正电,在聚酰亚胺基体中均匀分散,颗粒表面吸附聚酰亚胺分子链,形成有机无机界面层,小角X射线散射与透射电镜测试证实了界面层的存在,测试的界面层厚度基本一致,约为2 nm左右。实验结果表明,随SiO_2、Al_2O_3组分增加,PI/SiO_2、PI/Al_2O_3复合薄膜的相对介电常数增加,电导率、介电损耗增幅较小。高电场条件下,SiO_2、Al_2O_3对聚酰亚胺分子链起到保护作用,防止其分解形成氨基、羟基等物质,PI/SiO_2、PI/Al_2O_3复合薄膜电晕老化寿命和交流击穿场强明显提高。相同组分下,PI/Al_2O_3的电晕老化寿命高于PI/SiO_2,PI/Al_2O_3 20%电晕老化寿命约为纯PI的25倍。随着SiO_2和Al_2O_3组分增加,PI/SiO_2、PI/Al_2O_3复合薄膜热稳定性和导热性能明显提升,相同组分下,PI/Al_2O_3的热分解温度和导热系数均高于PI/SiO_2。二维纳米BN为不规则片层结构,平面尺寸约为100-250 nm,厚度约为7 nm。在聚酰亚胺中通过多层铺膜、机械应力、电场诱导和加热固化,对BN进行诱导取向,低组分条件下,BN分散均匀并实现水平取向。随着BN组分增加,PI/BN相对介电常数先增加后减小,电导率、介电损耗增幅较小。高电场条件下,BN存在片层阻挡空穴载流子效应,PI/BN电晕老化寿命和交流击穿场强明显提升。随着BN组分进一步增加,BN分散性较差,电晕老化寿命和交流击穿场强迅速减小。PI/BN+Al_2O_3复合薄膜中,二维纳米BN水平取向,零维纳米Al_2O_3自主围绕在BN周围,有效填补在BN之间的聚酰亚胺中,形成Al_2O_3自主围绕BN和BN+Al_2O_3均匀分布的多分散体系。随着BN+Al_2O_3组分增加,PI/BN+Al_2O_3相对介电常数迅速增加,电导率、介电损耗增幅较小,热稳定性和导热性能明显提升。BN+Al_2O_3组分为15%时,电晕老化寿命和交流击穿场强分别增加为纯PI的28倍、1.5倍;BN+Al_2O_3组分为20%时,电晕老化寿命和交流击穿场强均有所下降。本文从微观角度进行表面电位、空间电荷,热激电流、电导电流分析测试,结合复合薄膜微结构和电学性能、热学性能测试结果,揭示复合薄膜耐电晕老化机理。结果表明,Al_2O_3、BN、BN+Al_2O_3相对介电常数较高,表面电位较低,其附近电场线较密集,载流子主要到达Al_2O_3、BN、BN+Al_2O_3及界面区域;BN阻挡空穴载流子向内部输运,Al_2O_3与聚酰亚胺形成界面层,产生更多较深陷阱能级,成为载流子输运和空间电荷复合通道;Al_2O_3、BN的引入限制聚酰亚胺取向极化,在保持绝缘性能和较低介电损耗的同时,提高了电导率和电场老化阈值,防止空间电荷大量积累,同时复合薄膜具有更好的导热性能以及热老化性能,耐电晕老化性能明显提升。在PI/BN+Al_2O_3中,BN、Al_2O_3发挥协同作用,其中BN阻挡空穴载流子,抵御高能载流子轰击聚酰亚胺;Al_2O_3有效防止BN团聚,与BN形成多分散体系,利于输运载流子、复合空间电荷,具备优异的热稳定性,进一步提高了聚酰亚胺电晕老化寿命。(本文来源于《哈尔滨理工大学》期刊2019-06-01）
王维[9]（2019）在《钙钛矿氧化物薄膜的微结构表征及电子束辐照效应的研究》一文中研究指出在强关联电子体系中,晶格,自旋,轨道和电荷之间的相互作用一直是人们关注的热点问题。二维薄膜材料的发展,实现了通过引入外界应力,化学掺杂等方式,调控这些微观的相互作用,使得材料的宏观性质不断得到优化。电子显微学作为一种研究物质微结构的有利方法,随着球差校正,色差校正技术的不断发展,原子级空间分辨率的微结构表征技术成为了一种不可替代的研究手段。本文将利用透射电子显微镜技术研究几种钙钛矿氧化物薄膜材料的晶体结构和电子结构。同时,关注电子束辐照效应对测试样品微结构带来的影响。本文主要包括以下部分:1.通过扫描透射电子显微镜(STEM)的方法观测薄膜样品(LaCoO_3/SrRuO_3多层膜)的缺陷结构。根据高角环形暗场像(HAADF),观测到了薄膜的界面以及其内部形成了多种不同的Ruddlesden-Popper(R.P.)型层错结构。按照层错的方向来分,可将其分为平行于界面的层错(即,水平层错)和垂直于界面的层错;从层错形成的位置来分,水平层错会出现在界面附近,也会出现在LCO层的内部;而垂直层错一般出现在SRO层内。这些层错的形成与多层膜生长的化学环境,薄膜应力和生长材料的热膨胀系数等因素相关。除此之外,根据层错中的原子排列特点,我们为每一种层错类型都提出了相应的3D原子结构模型,进而可以为薄膜的生长提供一些更为直观的观测结果。2.研究生长在SrTiO3衬底上的La_(1-x)Sr_xCoO_(3-)δ/La_(2/3)Sr_(1/3)MnO_3/La_(1-x)Sr_xCoO_(3-)δ(x=0.2,0.5)叁层膜的微结构,来进一步探究其易磁化轴在低温下发生转变的机制和易磁化能提高的原因。利用原子分辨率的STEM图像分析LSCO层对LSMO层提供的应力影响。研究结果显示,在LSCO层中存在横向和纵向的暗条纹,这些不同方向的暗条纹会为LSMO层提供不同的应力影响,导致LSMO层中MnO_6八面体的拉伸和压缩,从而使得Mn离子的3d轨道在室温下无序排布。通过低温和室温电子能量损失谱的前后对比,结合文献报道,低温下LSCO层中的晶面间距总体上发生收缩,这一变化会通过界面,为LSMO层提供更多的压应力影响,诱导LSMO层晶格畸变,使得MnO_6八面体沿着c轴拉长,3d电子更容易占据dz~2-r~2轨道。由于过渡金属中存在自旋-轨道耦合,从而为其自旋磁矩方向发生改变,薄膜样品中总磁矩沿着c轴方向,易磁化轴的方向指向面外。该研究从微观角度为易磁化轴在低温下发生转变提供了一定的实验证据。由于LSCO中不同的畴结构为LSMO提供了不同的应力影响,导致LSMO层的对称性降低,使其易磁化能提高。3.铜氧化物常常具有高温超导性,而Cu-O之间的相互作用诱导的晶格畸变与超导性的关联,一直受到广泛的关注。本文主要研究Tb_2Cu_(0.83)Pd_(0.17)O_4化合物中的非公度调制结构的本质。通过拍摄不同带轴的选区电子衍射图,我们发现调制结构是由于Cu离子沿着CuO_2平面的面外方向移动导致的,这种面外型移动的结构在R_2CuO_4(R=稀土金属)化合物中是一种新型的超结构。该样品在电子束辐照之下,通过调控电子束辐照剂量率的大小,发生可逆的,可重复的相变过程:近晶相-向列相-近晶相。通过一系列原位的TEM实验(加热实验,低温实验,低电压实验),可以判断电子束辐照分解效应是诱导相变主要的因素。根据实验观测的结果,我们推测调制结构形成的原因是由于Cu离子化合价态的有序分布导致的。4.溴化锰是用来制备有机-无机杂化钙钛矿材料的主要原料之一。了解其结构特性和化学稳定性对控制其性质具有重要的意义。在本文中我们主要关注溴化锰的耐辐照能力。在TEM中,用电子束辐照样品,原位实时地观测样品的变化过程。实验结果显示,暴露在空气中的溴化锰很容易吸收空气中的水分,其水合物在电子束的辐照下以及TEM铜网的催化作用下,会发生分解。(本文来源于《中国科学院大学(中国科学院物理研究所)》期刊2019-06-01）
任亚璇,郭玉强,郝圣圳,王翼飞,张士元[10]（2019）在《电解液黏稠度对彩虹色阳极氧化铝薄膜微结构的影响》一文中研究指出通过加入丙二醇改变丙二酸电解液的黏稠度。维持丙二酸的浓度为0.8 mol/L,丙二醇的体积比分别为0%、30%、50%、70%、100%,制备出具有鲜艳结构色的阳极氧化铝(AAO)薄膜。结果表明:随着电解液黏稠度的提高,最高氧化电压逐渐升高,AAO薄膜模板的孔间距逐渐增大。不同黏稠度的电解液中制备的AAO薄膜表面光波反射峰位置不同。对此,利用布拉格反射公式进行了分析,进而对有无铝基支撑时薄膜颜色的改变做出了解释。(本文来源于《电镀与环保》期刊2019年03期）
薄膜微结构论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
提出一种基于金属-介质六层膜的高太阳辐射吸收的新型双十字形微结构,计算显示其加权平均吸收率在截止波长前的光谱区约为96.5%,850K温度的辐射率为0.086.通过场图分析对太阳能波段的光热吸收机制进行了探讨.不同入射角情况下的计算结果显示,基于双十字形微结构的太阳能选择性吸收薄膜可具有低偏振依赖性,以及小于50°入射角条件下的低入射角依赖性特点,将能够满足太阳能选择性吸收器件的应用需求.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
薄膜微结构论文参考文献
[1].王林青,周永涛,王军军,刘雪芹.氢稀释比对磁控溅射低温(100℃)沉积氢化微晶硅薄膜微结构特性的影响（英文）[J].JournalofCentralSouthUniversity.2019
[2].张静如,涂华恬,臧恺岩,胡二涛,张荣君.基于W双十字形微结构的太阳能选择性吸收薄膜的数值研究（英文）[J].红外与毫米波学报.2019
[3].陈隆,陈成克,李晓,胡晓君.氧化对单颗粒层纳米金刚石薄膜硅空位发光和微结构的影响[J].物理学报.2019
[4].蒋梅燕,朱政杰,陈成克,李晓,胡晓君.硫离子注入纳米金刚石薄膜的微结构和电化学性能[J].物理学报.2019
[5].葛少博,刘卫国,周顺,杨鹏飞,李世杰.薄膜微结构的近红外透射诱导增强特性[J].光子学报.2019
[6].文国知.含硅量子点的碳化硅薄膜制备工艺和微结构表征研究[J].武汉轻工大学学报.2019
[7].肖莉莉.微结构全彩色氧化钨电致变色薄膜的构筑及应用[D].中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所).2019
[8].夏旭.零维二维纳米材料协同改性聚酰亚胺复合薄膜微结构与电学性能研究[D].哈尔滨理工大学.2019
[9].王维.钙钛矿氧化物薄膜的微结构表征及电子束辐照效应的研究[D].中国科学院大学(中国科学院物理研究所).2019
[10].任亚璇,郭玉强,郝圣圳,王翼飞,张士元.电解液黏稠度对彩虹色阳极氧化铝薄膜微结构的影响[J].电镀与环保.2019
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