论文摘要
微焦点X射线源是显微CT的关键部件,其产生的X射线的亮度决定着显微计算机断层成像的质量。基于聚焦成微焦点的电子束轰击靶材99%的能量转化为热量,这将会烧蚀靶面,甚至熔化,这将导致X射线的输出品质的严重下降,从而影响X射线的亮度。为此,需要提高靶材的散热性。由于金刚石具有高熔点、高热导率,金刚石透射式靶材可以提高靶材的散热性,这种靶材在分辨率为2μm时,能够承受的功率为7 W。为了进一步提高金刚石透射式靶材的散热性,我们设计钨塞式结构的金刚石透射式靶材,采用激光打孔和镀膜相结合,制备了该结构靶材。在分辨率为2μm时,能够承受的功率为9 W。
论文目录
文章来源
类型: 国内会议
作者: 马玉田,刘俊标,牛耕,赵伟霞,韩立
关键词: 显微,金刚石靶材,钨塞式结构
来源: 第十六届中国体视学与图像分析学术会议——交叉、融合、创新 2019-10-17
年度: 2019
分类: 基础科学
专业: 物理学
单位: 中国科学院电工研究所
分类号: O434.1
DOI: 10.26914/c.cnkihy.2019.058004
页码: 281
总页数: 1
文件大小: 49k
下载量: 3
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