论文摘要
由于非金属材料对长波红外激光有较强的吸收,CO2激光常被用于制备PMMA微通道。激光光强呈高斯分布,导致常规激光静态多程刻蚀法制备的微通道截面为三角形,无法满足微流体芯片中的实际应用需求。提出了一种激光多程平移刻蚀法,以首次刻蚀形成的热影响区（HAZ）为界限多程横向重叠平移刻蚀,可以快速制备出理想梯形截面的高质量微通道。通过与CO2激光静态多程刻蚀法在横截面、热影响区、表面粗糙度等方面的对比,结果表明,CO2激光多程平移刻蚀法制备的PMMA微通道热影响区更小、表面更光滑、横截面更实用。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 吴天昊,柯常军,姜永恒,孔心怡,钟艳红
关键词: 微通道,激光,梯形通道
来源: 红外与激光工程 2019年03期
年度: 2019
分类: 信息科技,基础科学
专业: 物理学,无线电电子学
单位: 中国科学院电子学研究所,中国科学院大学,吉林大学物理学院
基金: 国家自然科学基金(61475157)
分类号: TN24;TN492
页码: 96-100
总页数: 5
文件大小: 1635K
下载量: 67
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