退火温度对溶胶-凝胶法制备的AZO薄膜性能影响的研究

论文摘要

以溶胶-凝胶法制备Al掺杂的ZnO（AZO）薄膜。为了提高薄膜的结晶性,在氩气气氛中将所制备的薄膜分别在400℃、500℃和550℃温度下退火处理,研究不同退火温度对薄膜样品形貌和性能的影响。结果表明,所制备的AZO薄膜为六角纤锌矿结构,有很明显的c轴择优取向;随着退火温度增加,薄膜的结晶性与电导率均先增加后减小,其在可见光区域的平均透过率约为85%。当退火温度为500℃时,制备的AZO薄膜性能最佳,其品质因素可以达到2 051.04Ω-1·cm-1。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 赵婷婷,薛剑鸣,王威,郝凌云,陈相均,张昕曜,支国伟

关键词: 半导体材料,薄膜,溶胶凝胶法,退火温度

来源: 电子器件 2019年01期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 材料科学,工业通用技术及设备

单位: 金陵科技学院材料工程学院,南京科润工业介质股份有限公司

基金: 江苏省大学生创新训练重点项目(201713573005Z),金陵科技学院博士启动资金项目(jit-b-201612),金陵科技学院科研激励项目(jit-fhxm-201609)

分类号: TB383.2

页码: 5-8

总页数: 4

文件大小: 1693K

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