导读:本文包含了微电子机械论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:微电子,信号,机械设备,机械,天线,微波,传感器。
微电子机械论文文献综述
刘欣,吉康[1]（2019）在《微电子传感信号控制下的机械设备自动控制技术》一文中研究指出本文重点分析研究微电子机械系统的特点,阐述微电子传感信号控制下,机械设备自动控制技术,并且通过实例阐述微电子传感信号控制下的机械设备自动控制技术的优势,以供参考。(本文来源于《电子技术与软件工程》期刊2019年11期）
杨大可,孙玮,党丽琴[2]（2019）在《机械微电子技术的应用展望》一文中研究指出我国机械制造行业在不断的改革及发展,各种全新机械制造技术正在不断提高,尤其是电子技术被广泛应用到机械制造行业中。机械电子技术是一种具备微电子、机械、计算机综合信息处理技术的多学科技术。通过对机械微电子技术的使用和未来发展进行分析,希望能够对我国机械电子技术发展及创新提供帮助。(本文来源于《集成电路应用》期刊2019年01期）
[3]（2018）在《基于MEMS(微电子机械系统)工程和纳米技术的医疗工程研发和产品设计项目》一文中研究指出地区:河南省郑州航空港实验区内外资:外资项目单位:郑州正和医疗器械有限公司行业领域:制造业所属产业:先进制造业合作方式:合资外商投资方式:其他项目有效期:1年投资总额:0.3亿/人民币项目标注:普通项目项目详情:加拿大SENSE INTELLIGENT公司是一家旨在通(本文来源于《中国粉体工业》期刊2018年06期）
杜静[4]（2018）在《基于微电子传感信号的机械设备自动控制》一文中研究指出随着机械设备在生产当中的应用越来越广泛,如何提高机械设备的工作效率成为了一个问题。本文对此展开详细的论述,通过将实际工作当中的具体情况引入到论述当中,对微电子传感信号在机械设备自动控制的进行研究。(本文来源于《中国设备工程》期刊2018年18期）
李启坤,邱琪[5]（2018）在《基于2D微电子机械系统(MEMS)镜全向激光雷达光学系统设计》一文中研究指出为了满足全向激光探测的需求,提出一种基于2D MEMS镜扫描的激光雷达结构。激光器通过1×6高速光开关分时地给6个扫描子系统提供光信号,6个扫描子系统探测视场迭加起来可实现360°激光探测。每个扫描子系统的扫描范围为60°×30°,其中包含一个扩展MEMS镜扫描角度的发射光学天线和一个大视场有增益的接收光学天线。发射光学天线将MEMS镜±10°的扫描角扩展到±30°,发散度小于0.2mrad;接收视场内的激光回波经过接收天线在探测器上所成的半像高小于1mm,接收增益为3.65。通过计算修正后的激光雷达方程可得到发射功率20W的激光束在工作距离100m内的回波功率≥1nW,结果表明该光学系统可适用于激光雷达系统。(本文来源于《应用光学》期刊2018年04期）
宋宇,张海霞[6]（2018）在《微电子机械系统研究领域的最新进展——IEEE MEMS 2018国际会议综述》一文中研究指出18年1月21日至25日在英国贝尔法斯特会展中心举行(见图1),吸引了来自世界各国相关领域的600余位专家学者,共同探讨微纳传感工艺等领域的最新进展与科学前沿。此次会议的大会主席由来自瑞士电子与微技术中心(CSEM)的Michel Despont教授与爱尔兰都柏林城市大学的Jens Ducrée教授共同担任,并设置了最佳口头报告奖与最佳张贴报告奖,得到了国际电气与电子工程协会(IEEE)与IEEE机器人与自动化学会等多个国际组织(本文来源于《太赫兹科学与电子信息学报》期刊2018年02期）
李精,朱群峰[7]（2018）在《基于微电子传感信号控制下的机械设备自动控制技术应用研究》一文中研究指出基于微电子传感信号,实现机械设备自动化控制,对提高工作效率和质量,有着积极的作用。本文针对机械设备自动控制技术应用相关内容,做了简单的论述。结合实际案例,分析机械设备自动控制技术的具体应用。(本文来源于《南方农机》期刊2018年07期）
刘雅倩,勒国庆[8]（2018）在《分析微电子传感信号控制下的机械设备自动控制技术应用》一文中研究指出在整个控制管理过程中需要了解机械设备的控制要求,以自动化控制为基础,做好信号管理工作,如果出现信号控制不准确或者其他现象,则势必对系统稳定性产生影响。本次研究以微电子传感信号控制下自动化控制技术的特点为基础,对如何实现合理化应用进行分析。(本文来源于《南方农机》期刊2018年05期）
闫浩[9]（2018）在《微电子机械微波通讯信号集成检测系统的研究》一文中研究指出在微波信号检测中,微波的功率、频率和相位是叁大基本的测量参数,微波信号检测广泛应用在幅移键控(ASK)、频移键控(FSK)、相移键控(PSK)、微波定位、天线相位方向图的测试和近场诊断等微波通讯系统。这些系统在实际应用中迫切需要重量轻、体积小、功耗低和集成度高的电子装备。现有的微波功率、相位和频率检测器都为单个独立电路,这些分立器件不仅具有体积较大的缺点,而且无法完成对同一时刻的微波信号的功率、相位和频率的检测。为此急需一种可以同时对叁种微波参量实现集成检测的系统来满足微波通讯领域的应用需求。针对这些需求,本文基于单个分立的检测器的研究,完成了微电子机械微波通讯集成检测系统的设计理论和实现方法的研究,主要内容包括:(1)针对电容式MEMS微波功率传感器在大功率下非线性的问题:提出了一种最大功率达到4W的电容式MEMS微波功率传感器,应用Ansys HFSS软件对电容式MEMS功率传感器的结构进行了模拟,得到了MEMS梁表面的电场和磁场分布,从而确定了有效传感范围;并利用Ansys FEM软件分析电容传感器的机械性能,得到MEMS梁在4W输入功率下的位移分布,对传统的微波-力-电转换模型进行了第一次修正;在此基础上,进一步考虑大功率输入下电容增大所导致的信号反射,进行了第二次修正;最后,通过对该电容式MEMS功率传感器的大功率下输出特性进行了测试,验证了经两次修正后的传感器非线性模型的有效性,为大功率的电容式MEMS微波功率传感器的研究奠定了理论基础。(2)针对MEMS微波相位检测器相位全周期和大功率信号检测的问题:基于GaAs MMIC工艺制备了一种基于MEMS功率传感器的MEMS微波相位检测器,测试表明,该MEMS微波相位检测器的相移测量结果与一个完整周期的计算结果吻合良好;在输入23dBm功率10GHz频率下,由热电式和电容式两种MEMS功率传感器所测得的相位灵敏度分别为16.62μV/°和23.94aF/°;进一步,为充分研究性能良好的MEMS微波相位检测器的应用可行性,本文还对其进行了大功率下的相位检测,相移测试结果依然符合余弦曲线关系。电容式MEMS微波功率传感器弥补了热电式功率传感器处理高功率的不足,将MEMS微波相位检测器的动态范围扩大到4W。(3)针对MEMS微波信号检波器的问题:提出了热电式、在线式和级联式叁种基于GaAs MMIC工艺的MEMS检波器,这些检波器利用热电转换器和静电力执行器的平方律特性和低通特性。实验表明,热电式MEMS检波器可以实现载波频率为0.35-10GHz的幅度调制信号的直接检波,功率检测范围覆盖0-20dBm;在线式MEMS检波器的回波损耗在0.01-10GHz频段内优于20dB,插入损耗小于0.5dB,并可以对幅度调制信号实现在线直接检波;级联式MEMS检波器具有高功率处理能力的优点,能够覆盖0-23dBm的功率范围。这叁种MEMS检波器都具有无直流功耗的优势。(4)针对MEMS悬臂梁开关的介质层电荷注入相关的可靠性问题:针对MEMS悬臂梁开关结构的介质层电荷注入所引起的可靠性问题进行了深入的研究,提出了一种平衡电桥表征方法,首先,建立了平衡电桥的等效电路模型,推导了平衡电桥法的精度公式。通过激光多普勒测速仪分析了悬臂梁的振动模态,确保了悬臂梁开关结构的机械对称性;利用函数信号发生器和示波器分析了悬臂梁开关结构的电学对称性;研究了直流电压条件下的电荷充电过程,实验结果表明,平衡电桥法的精度可以达到10Ω/fF,通过使用该方法可以观察到接触和非接触的充电过程,这两种充电效果可以根据拟合后的弛豫时间和拉伸指数因子来区分;在此基础上研究了26-33dBm功率26GHz频率RF信号下的介电层电荷充电过程,并对相应的机理进行了分析和讨论。实验结果表明,相比于直流电压,RF信号下的下介电层充电的效应十分有限。(5)针对MEMS微波通讯信号集成检测系统设计理论和实现方法方面的问题:设计理论:本文首先通过n端口无源网络信号迭加合成过程,给出了n端口信号检测的通用公式,并由该通用公式推导出六端口微波信号集成检测系统的理论公式,从而为集成检测系统的拓扑结构设计提供依据;其次,在此基础上提出了基于幅度比值和相位比较检测频率的两种微波信号集成检测系统的结构,并且针对这两种微波信号集成检测系统分别利用Ansys HFSS软件进行了结构模拟,确定了这两种微波信号集成检测系统的最终结构尺寸。实现方法:利用GaAs MMIC工艺制备了基于幅度比值和相位比较检测频率的两种微波信号集成检测系统。这两种微波信号集成检测系统首先利用幅度比值和相位比较法对待测信号的频率进行了检测,并且频率检测与功率无关;其次利用耦合的方法对待测信号的功率进行了检测,并且在测得频率的基础上对测试结果进行了校正,使得功率检测与频率无关;这两种微波信号集成检测系统都利用正交双通道的方法实现了相位检测;进一步,这两种微波信号集成检测系统都可以对调幅信号实现直接检波;最后,利用微波网络理论,推导并计算MEMS微波传感器及其集成检测系统的S参数模型,为微波通讯系统中的嵌入式应用提供了有力的理论支撑。该MEMS微波通讯信号集成检测系统,实现了对同一时刻的微波信号的功率、相位、频率检测及调幅信号的检波;并且单片集成系统具有抑制加工工艺所导致的不对称偏差的优点,保证了检测系统内部的各个传感结构的一致性。基于以上MEMS微波通讯信号集成检测系统的设计理论和实现方法的研究已获得多项中华人民共和国国家发明专利授权和受理(见成果表),具有自主知识产权,填补了国内MEMS微波通讯信号集成检测系统在设计理论和实现方法方面的空白。(本文来源于《东南大学》期刊2018-03-01）
徐明哲,王殊轶,孙昌英[10]（2017）在《基于微电子机械加速度传感器的腹腔镜训练评价系统》一文中研究指出我们设计了一种腹腔镜训练评价系统,并通过测试验证了系统的可行性。本研究选择了操作时间、平均速度、运动平稳度和空闲率作为评价系统的测量指标。利用MEMS加速度传感器系统完成运动参数采集。开发并设计MEMS加速度传感器模块,采取卡尔曼滤波算法对加速度计以及陀螺仪数据进行时域方面滤波,并通过欧拉角算法消除重力对加速度数据的影响;开发了指标计算软件平台,实现了由原始数据到指标参数的计算和数据保存。本研究通过对培训者10次培训操作过程的数据分析得到其操作时间训练前后减少了32%,左右手的操作平均速度分别降低45%和32%,左右手平稳度分别提高15%和19%,空闲率降低53%。(本文来源于《生物医学工程研究》期刊2017年02期）
微电子机械论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
我国机械制造行业在不断的改革及发展,各种全新机械制造技术正在不断提高,尤其是电子技术被广泛应用到机械制造行业中。机械电子技术是一种具备微电子、机械、计算机综合信息处理技术的多学科技术。通过对机械微电子技术的使用和未来发展进行分析,希望能够对我国机械电子技术发展及创新提供帮助。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微电子机械论文参考文献
[1].刘欣,吉康.微电子传感信号控制下的机械设备自动控制技术[J].电子技术与软件工程.2019
[2].杨大可,孙玮,党丽琴.机械微电子技术的应用展望[J].集成电路应用.2019
[3]..基于MEMS(微电子机械系统)工程和纳米技术的医疗工程研发和产品设计项目[J].中国粉体工业.2018
[4].杜静.基于微电子传感信号的机械设备自动控制[J].中国设备工程.2018
[5].李启坤,邱琪.基于2D微电子机械系统(MEMS)镜全向激光雷达光学系统设计[J].应用光学.2018
[6].宋宇,张海霞.微电子机械系统研究领域的最新进展——IEEEMEMS2018国际会议综述[J].太赫兹科学与电子信息学报.2018
[7].李精,朱群峰.基于微电子传感信号控制下的机械设备自动控制技术应用研究[J].南方农机.2018
[8].刘雅倩,勒国庆.分析微电子传感信号控制下的机械设备自动控制技术应用[J].南方农机.2018
[9].闫浩.微电子机械微波通讯信号集成检测系统的研究[D].东南大学.2018
[10].徐明哲,王殊轶,孙昌英.基于微电子机械加速度传感器的腹腔镜训练评价系统[J].生物医学工程研究.2017
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