梳状驱动器论文_张琪昌,任环,韩建鑫

导读:本文包含了梳状驱动器论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:驱动器,反馈,电学,静电,效应,边缘,结构。

梳状驱动器论文文献综述

张琪昌,任环,韩建鑫^[1]（2016）在《时滞控制下的微梳状驱动器动力学研究》一文中研究指出在微梳状驱动器的直、交流两种驱动电压中,加入时滞速度反馈,建立了时滞影响下的微梳状驱动器的单自由度模型。假设驱动器以微小振幅振动,将含速度时滞反馈的静电驱动力进行泰勒近似展开,应用多尺度法得到时滞参数影响下系统的幅频响应方程;驱动频率在共振频率附近时,系统非线性振动随时滞参数改变时发生跳跃现象;不同的直流电压等物理参数状态下的系统振动频率和软硬特性不同,可以通过改变时滞参数控制不同物理参数下的系统的振动的稳定范围和幅值。经过计算并使用数值方法验证了结论,正时滞参数引起系统振动失稳,负时滞参数可使振动幅值跳跃现象消失。(本文来源于《振动与冲击》期刊2016年18期）

任环^[2]（2015）在《时滞控制下的微梳状驱动器动力学研究》一文中研究指出作为微机电系统中最关键并且应用最为广泛的驱动器之一,微梳状驱动器在性能、制造、应用范围的提升对于微机电整体产业的发展具有重要意义。对比不同的驱动方式,静电驱动设备相对简单、容易实现、易于控制,是微梳状结构中最广泛使用的驱动方式。由于微机电系统自身的结构、尺寸特点,在非线性的静电驱动力的作用下会产生复杂的动力学特性。微梳状结构在某些条件下的非线性振动限制了驱动器的稳定工作范围,降低了其工作可靠性,即使是很小的物理参数改变,也可能会使静电力驱动梳齿状驱动器产生较大影响,甚至产生吸合现象,造成系统失稳,因此对系统整体进行动力学分析是很有必要的。本文对微梳状驱动器的单自由度模型的非线性振动进行了分析,通过摄动法和傅里叶积分求解方程,得到各个动力学参数影响系统的等效刚度和幅频响应。从静电驱动力参数和结构物理参数两方面综合分析,可以实现扩大驱动器的正常工作范围、控制驱动器输出、提升反应灵敏度、提高使用寿命的目的。由于系统反应滞后、结构自身特点、信号传输速度限制等因素,造成时滞现象广泛存在于各类微机电系统中。但在现在的实际设计中却几乎不考虑利用时滞因素对系统的有效控制。经过分析,静电驱动微梳状结构的静电力本身就存在反馈效果,这很容易引起吸合效应,造成系统失稳。然而,如果把时滞现象加以利用,可以实现对整个系统的控制的作用。由于利用时滞对系统进行控制,具有造价低、驱动电压低、质量因子高、稳定性高等优点,可以利用时滞反馈控制稳定系统输出,补偿系统参数改变,提高驱动器的整体性能。在微梳状驱动器的直、交流两种驱动电压中,加入速度时滞反馈和位移时滞反馈,建立了时滞影响下的微梳状驱动器的单自由度模型。假设驱动器以微小振幅振动,将含速度或位移时滞反馈的静电驱动力进行泰勒近似展开,应用多尺度法得到时滞参数影响下系统的幅频响应方程。驱动频率在共振频率附近时,系统非线性振动随时滞参数改变时发生跳跃现象。不同的直流电压等物理参数状态下的系统振动频率和软硬特性不同。可以通过改变时滞参数控制不同物理参数下的系统的振动的稳定范围和幅值。经过计算并使用数值方法验证了结论,对比不同的两种时滞反馈控制方法得到:正速度时滞参数引起系统振动失稳,负速度时滞参数可使振动幅值跳跃现象消失;负位移时滞参数引起系统振动失稳,正位移时滞参数使振动幅值跳跃现象消失。这对更好的稳定系统的输出,补偿系统参数的改变,提高梳齿的性能提供理论参考。(本文来源于《天津大学》期刊2015-12-01）

李勇,李玉和,李庆祥,訾艳阳^[3]（2003）在《计及边缘效应的非平行梳状驱动器的静电力计算》一文中研究指出为准确计算梳状驱动器的静电力,针对非平行静电梳状驱动方式以及实际静电致动微机械器件电容边缘效应不可忽略的特点,进一步推导出忽略边缘效应的非平行静电梳状驱动器静电力计算式,并给出计及边缘效应的梳状驱动器以及非平行梳状驱动器静电力计算公式。采用有限元方法的叁维仿真结果表明,对于不满足平行板电容器简化计算条件的模型,计及边缘效应的计算式具有更好的准确性。(本文来源于《清华大学学报(自然科学版)》期刊2003年08期）

梳状驱动器论文开题报告

（1）论文研究背景及目的

此处内容要求：

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例：

作为微机电系统中最关键并且应用最为广泛的驱动器之一,微梳状驱动器在性能、制造、应用范围的提升对于微机电整体产业的发展具有重要意义。对比不同的驱动方式,静电驱动设备相对简单、容易实现、易于控制,是微梳状结构中最广泛使用的驱动方式。由于微机电系统自身的结构、尺寸特点,在非线性的静电驱动力的作用下会产生复杂的动力学特性。微梳状结构在某些条件下的非线性振动限制了驱动器的稳定工作范围,降低了其工作可靠性,即使是很小的物理参数改变,也可能会使静电力驱动梳齿状驱动器产生较大影响,甚至产生吸合现象,造成系统失稳,因此对系统整体进行动力学分析是很有必要的。本文对微梳状驱动器的单自由度模型的非线性振动进行了分析,通过摄动法和傅里叶积分求解方程,得到各个动力学参数影响系统的等效刚度和幅频响应。从静电驱动力参数和结构物理参数两方面综合分析,可以实现扩大驱动器的正常工作范围、控制驱动器输出、提升反应灵敏度、提高使用寿命的目的。由于系统反应滞后、结构自身特点、信号传输速度限制等因素,造成时滞现象广泛存在于各类微机电系统中。但在现在的实际设计中却几乎不考虑利用时滞因素对系统的有效控制。经过分析,静电驱动微梳状结构的静电力本身就存在反馈效果,这很容易引起吸合效应,造成系统失稳。然而,如果把时滞现象加以利用,可以实现对整个系统的控制的作用。由于利用时滞对系统进行控制,具有造价低、驱动电压低、质量因子高、稳定性高等优点,可以利用时滞反馈控制稳定系统输出,补偿系统参数改变,提高驱动器的整体性能。在微梳状驱动器的直、交流两种驱动电压中,加入速度时滞反馈和位移时滞反馈,建立了时滞影响下的微梳状驱动器的单自由度模型。假设驱动器以微小振幅振动,将含速度或位移时滞反馈的静电驱动力进行泰勒近似展开,应用多尺度法得到时滞参数影响下系统的幅频响应方程。驱动频率在共振频率附近时,系统非线性振动随时滞参数改变时发生跳跃现象。不同的直流电压等物理参数状态下的系统振动频率和软硬特性不同。可以通过改变时滞参数控制不同物理参数下的系统的振动的稳定范围和幅值。经过计算并使用数值方法验证了结论,对比不同的两种时滞反馈控制方法得到:正速度时滞参数引起系统振动失稳,负速度时滞参数可使振动幅值跳跃现象消失;负位移时滞参数引起系统振动失稳,正位移时滞参数使振动幅值跳跃现象消失。这对更好的稳定系统的输出,补偿系统参数的改变,提高梳齿的性能提供理论参考。

（2）本文研究方法

调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。