软轴单晶炉晶体生长的固有干扰因素分析

论文摘要

随着半导体产业技术发展,提高单晶材料生长的成晶率和晶体内在品质越来越重要。国内目前普遍采用软轴单晶炉进行锗、硅单晶棒生产,软轴单晶炉相对硬轴单晶炉具有结构紧凑,运行可靠、设备成本低等的优点,但是软轴单晶炉由于软轴系统类似于单摆和弹簧振子的结构特点,容易产生固有共振干扰,存在对晶体品质不利的影响因素。对这些干扰因素、解决措施进行了简要分析和讨论。

论文目录

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 张志坚,池蓉,罗凤灵

关键词: 单晶,软轴单晶炉,固有干扰

来源: 云南冶金 2019年05期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 化学

分类号: O782

页码: 65-71

总页数: 7

文件大小: 1643K

下载量: 45

相关论文文献

标签：单晶论文;  软轴单晶炉论文;  固有干扰论文;