论文摘要
为提高酒精检测系统的信噪比,根据比尔-朗伯定律确定双通窄带滤光片的技术参数;根据技术参数在Si基底上采用双面拆分法设计窄带滤光片,建立折射率渐变模型确定反演系数,实现膜层的准确控制。采用真空室原位退火法提高膜层聚集密度,降低膜层应力,进而提高膜层附着力,稳定膜层光谱性能;制备的膜层能够满足在（1392±10） nm和1530～1570 nm波段透射率大于90%,400～1350 nm和1600～1800 nm波段透射率小于1%,在1410～1515 nm波段透射率小于30%的要求。
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类型: 期刊论文
作者: 付秀华,王野,刘冬梅,张静,张功,卢成
关键词: 光学器件,光学薄膜,双通滤光膜,膜层敏感度,膜应力
来源: 中国激光 2019年11期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑,信息科技
专业: 物理学,汽车工业,无线电电子学
单位: 长春理工大学光电工程学院
基金: 吉林省重大科技攻关专项(20190302095GX)
分类号: TN249;U463.6
页码: 24-30
总页数: 7
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