低频MEMS矢量水听器技术研究

低频MEMS矢量水听器技术研究

论文摘要

矢量水听器是感知水下声信息的重要设备,本文基于MEMS微加工工艺研制了一种可固定安装的复合式矢量水听器,将MEMS矢量水听器芯片与压电陶瓷环在结构上组合在一起,能够同时拾取水下目标信号的标量信息和矢量信息。水听器采用橡胶软壳封装,能够有效的提高水听器的低频灵敏度。通过驻波管计量,MEMS复合式水听器的工作频率范围为20~1000 Hz,矢量振速通道灵敏度为-183.5 dB@20 Hz,标量声压通道灵敏度为-170.2 dB@20 Hz,对于水下低频信号有良好的响应特性。

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文章来源

类型: 国内会议

作者: 张松,董自强,李旭,苗峻,胡天宇,李晋,朱林,张晓桐,王大宇

关键词: 低频检测,固定安装,矢量水听器

来源: 中国声学学会水声学分会2019年学术会议 2019-05-25

年度: 2019

分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑

专业: 物理学,工业通用技术及设备

单位: 中国电子科技集团公司第五十四研究所

分类号: TB565.1

页码: 370-372

总页数: 3

文件大小: 353k

下载量: 50

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