论文摘要
采用射频磁控溅射技术,在不同氮氧比条件下,经过退火处理制备了N掺杂ZnO∶Al薄膜。对样品进行X射线衍射(XRD)、探针扫描显微镜(FAM)、透过率和电阻测试。结果表明:薄膜表面呈现柱状结构,当氮氧比为9∶1时,c轴择优取向最强。在可见光(500～800 nm)范围内,平均透过率都达到了90%以上。随着氮氧比增大,薄膜电阻先增大后减小,后又略微增大。当氮氧比由3∶1增加到9∶1时,由于N作为施主和受主掺杂的浓度不同,薄膜实现了由n型导电转变为p型导电。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 高立华,高松华,陈礼炜
关键词: 氮氧比,施主,受主,光电性能
来源: 新乡学院学报 2019年12期
年度: 2019
分类: 社会科学Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 材料科学,工业通用技术及设备
单位: 装备智能控制福建省高校重点实验室,三明学院机电工程学院
基金: 国家自然科学基金项目(11804189),福建省自然科学基金项目(2017J01714)
分类号: TB383.2
页码: 16-18+26
总页数: 4
文件大小: 2208K
下载量: 39
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