光化学氧化工艺论文_汪师俊,蔡琪玉,沈天慧

导读:本文包含了光化学氧化工艺论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:光化学,薄膜,气相,工艺,论文,氮化硅。

光化学氧化工艺论文文献综述

汪师俊,蔡琪玉,沈天慧^[1]（1993）在《光化学气相淀积氮化硅的工艺及其应用研究——(Ⅰ)光化学气相淀积氧化硅的工艺研究》一文中研究指出文章介绍制备光化学气相淀积氮化硅薄膜的原理、设备及实验结果。(本文来源于《微电子学与计算机》期刊1993年02期）

光化学氧化工艺论文开题报告

光化学氧化工艺论文参考文献

[1].汪师俊,蔡琪玉,沈天慧.光化学气相淀积氮化硅的工艺及其应用研究——(Ⅰ)光化学气相淀积氧化硅的工艺研究[J].微电子学与计算机.1993

论文知识图

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