锍盐、抗蚀剂组合物和图案化方法

论文摘要

<正>本发明为锍盐、抗蚀剂组合物和图案化方法。在使用特定结构的锍盐作为PAG时,抑制了酸扩散。在通过光刻法加工时,包括所述锍盐的抗蚀剂组合物形成具有改进的光刻性质(包括EL、MEF和LWR)的图案。

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类型: 期刊论文

来源: 乙醛醋酸化工 2019年11期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 有机化工

分类号: TQ421-18

页码: 49

总页数: 1

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本文来源: https://www.lunwen66.cn/article/016fe3d0807134bb16a13110.html