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高温抗氧化铱涂层复合制备技术展望

论文摘要

金属铱具有高熔点及低氧渗透率,是理想的氧气扩散屏障材料,为重要的高温抗氧化防护涂层材料之一,在航空航天领域具有广阔的应用前景。综述了目前较常采用的几种铱涂层制备技术的特点,在对比现有铱涂层制备方法的基础上,提出了原子层沉积/化学气相沉积复合制备技术。分析了该复合制备技术在铱涂层制备方面的优势,并指出发展原子层沉积/化学气相沉积复合制备技术尚需解决的几个关键问题。

论文目录

  • 0 引言
  • 1 铱涂层制备技术
  •   1.1 金属有机物化学气相沉积
  •   1.2 熔盐电沉积
  •   1.3 磁控溅射
  •   1.4 原子层沉积
  •   1.5 双辉等离子体法
  • 2 原子层沉积/化学气相沉积复合技术
  • 3 结束语

    • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 成功,熊玉卿,周晖,张凯峰,高恒蛟

    关键词: 涂层,原子层沉积,化学气相沉积,复合制备

    来源: 固体火箭技术 2019年04期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅱ辑

    专业: 航空航天科学与工程

    单位: 兰州空间技术物理研究所,真空技术与物理真空实验室

    基金: 解放军总装备部预研项目

    分类号: V259

    页码: 499-505+512

    总页数: 8

    文件大小: 204K

    下载量: 168

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    本文来源: https://www.lunwen66.cn/article/0e9140c6d2aff9f11121aec9.html