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“纳米制造的基础研究”重大研究计划结题综述

论文摘要

国家自然科学基金委员会重大研究计划"纳米制造的基础研究"历时8年于2018年完成结束评估。重大研究计划实施过程中,在基础理论方法、关键技术、核心仪器装备、典型工程示范应用等几个层面取得了系列集成成果。本文概述了该计划在亚纳米材料去除机理、纳米尺度结构成形、跨尺度批量化制造的原理与方法、系列纳米制造装备国产化等关键技术上所取得的一系列具有重大国际影响的突破性进展。文中展望了纳米制造研究的发展态势,提出了未来关注的重点学术方向。

论文目录

  • 1 纳米精度:亚纳米级材料去除机理
  •   1.1 原子层级材料去除理论模型与方法
  •   1.2 离子注入改性的界面演变机理
  •   1.3 纳米精度化学机械抛光装备原理与制造
  • 2 纳米尺度:纳米结构成形新方法
  •   2.1 第三代纳米压印理论模型与方法
  •   2.2 结构自约束的高精度可控制造
  • 3 跨尺度:大面积微纳结构制造新原理
  •   3.1 电子动态调控的超快激光加工新原理与新方法
  •   3.2 微纳3D直写技术
  •   3.3 大幅面滚压印制造方法与技术
  •   3.4 纳米混合印刷技术
  •   3.5 纳米/亚纳米误差传递与溯源的原理与方法
  •   3.6 三维冰微打印技术
  • 4 纳米制造装备领域的突破:装备国产化
  •   4.1 纳米精度表面制造装备
  •   4.2 纳米压印装备
  •   4.3 激光直写装备
  •   4.4 高能束加工装备
  • 5 对国家重大需求的支撑
  • 6 展望未来及关注的研究方向
  • 7 结语

    • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 王国彪,赖一楠,卢秉恒,雒建斌,黎明,刘红忠,刘磊,叶鑫

    关键词: 纳米制造,纳米精度,纳米尺度,跨尺度,纳米制造装备,基金委重大研究计划

    来源: 中国科学基金 2019年03期

    年度: 2019

    分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑

    专业: 材料科学

    单位: 国家自然科学基金委员会工程与材料科学部,西安交通大学机械工程学院,清华大学精密仪器与机械学系,东南大学机械工程学院,北京理工大学机械与车辆学院

    分类号: TB383.1

    DOI: 10.16262/j.cnki.1000-8217.2019.03.008

    页码: 261-274

    总页数: 14

    文件大小: 1036K

    下载量: 843

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    本文来源: https://www.lunwen66.cn/article/138280d80e3e613b811c142c.html