分凝效应论文_刘平,周祖尧,林成鲁,邹世昌,李炳宗

导读:本文包含了分凝效应论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:效应,论文。

分凝效应论文文献综述

刘平,周祖尧,林成鲁,邹世昌,李炳宗^[1]（1993）在《As在Co/Ti/Si叁元固相反应中的分凝效应》一文中研究指出在注入As的Si表面上,采用离子束溅射淀积Co/Ti双层金属膜。在氮气氛下对 Co/Ti/Si进行多步热处理,研究As原子在Co/Ti/Si叁元固相反应过程中的行为。实验采用背散射技术测量As原子在反应各阶段中的分布。结果表明,随着反应形成TiN(O)/Co-Ti-Si/CoSi_2/Si多层薄膜结构,一部分Si衬底中的As原子被分凝出来,向表面运动,并聚集在Co-Ti-Si叁元硅化物中。对As原子的这一再分布行为进行了讨论。(本文来源于《物理学报》期刊1993年11期）

分凝效应论文开题报告

分凝效应论文参考文献

[1].刘平,周祖尧,林成鲁,邹世昌,李炳宗.As在Co/Ti/Si叁元固相反应中的分凝效应[J].物理学报.1993

论文知识图

本文来源: https://www.lunwen66.cn/article/19decca474cf4ef47a29f853.html