m面AlN单晶自发成核生长表征

论文摘要

采用金属系统物理气相传输（PVT）法自发成核方式,生长获得长宽均大于1 cm、厚度为毫米量级的m面AlN单晶块体。通过对不同m面AlN单晶生长宏观形貌、微观表面的测试分析,初步可判定其生长存在单核生长和多核生长两种模式。并将m面AlN晶体生长过程分为3个阶段,分别为生长中心形成阶段、生长阶段和生长台阶并组阶段。第一性原理计算表明,每生长一层（4个）Al-N基元的m面和c面AlN晶体释放的能量分别为2.76 eV和8.64 eV,通过对衬底厚度的调节可以初步控制m面AlN晶体的成核概率。以此为依据进行m面AlN单晶接长实验,获得了12 mm×20 mm尺寸的m面AlN单晶,最大厚度达5 mm,为进一步籽晶生长和器件制备提供技术及理论基础。

论文目录

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 程红娟,金雷,史月增,赵堃,张丽,齐海涛,赖占平

关键词: 物理气相传输,表面形貌,台阶流,晶体,自发成核

来源: 半导体技术 2019年07期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑

专业: 化学

单位: 中国电子科技集团公司第四十六研究所,深圳大学光电工程学院

基金: 国家重点研发计划资助项目(2017YFB0404103),国家自然科学基金资助项目(51702297),天津市资助基金项目(17YFZCGX00520)

分类号: O782

DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2019.07.011

页码: 548-552+563

总页数: 6

文件大小: 2581K

下载量: 72

相关论文文献

• [1].非自发成核体系合成EU-1分子筛的研究[J]. 太原理工大学学报 2011(02)
• [2].沉淀与结晶相结合实现水软化[J]. 环境工程 2009(S1)
• [3].添加晶种对磷酸二氢钾结晶特性的影响[J]. 化工矿物与加工 2014(03)
• [4].DAST源粉表征与晶体制备[J]. 微波学报 2015(S1)
• [5].高温高压下金刚石成核机制的研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程 2011(03)
• [6].过饱和铝酸钠溶液均相成核机理研究[J]. 有色金属(冶炼部分) 2009(04)
• [7].L-乳酸钙间歇结晶粒度的研究[J]. 中国酿造 2010(03)
• [8].Bi_4Si_3O_(12)晶体的水热法生长研究[J]. 人工晶体学报 2015(06)
• [9].基于DAST晶体差频的可调谐THz辐射源[J]. 光学学报 2020(04)
• [10].熔体分层对BaBiBO_4晶体生长的影响[J]. 人工晶体学报 2011(03)
• [11].湿面老化动力学研究[J]. 食品工业科技 2010(02)
• [12].物理气相传输法生长氧化锌晶体[J]. 人工晶体学报 2014(01)
• [13].超音速喷嘴涡流管气体分离性能的数值模拟与实验[J]. 石油学报(石油加工) 2011(02)

本文来源: https://www.lunwen66.cn/article/300e0654e8dbc1d831528143.html