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特大型超高真空排气台的研制

论文摘要

为满足中科院高能物理研究所环型正负电子对撞机项目650 MHz/800 kW连续波速调管的超高真空排气需要,北方华创真空研制了由无油干泵和磁悬浮分子泵作为预抽系统,溅射离子泵作为主抽系统的特大型超高真空排气台。设备以温度和真空度作为主要工艺参数,对尺寸达到Φ1600 mm×5000 mm的连续波速调管进行高温真空烘烤排气,极限真空度优于8.0×10-8Pa;烘烤温度25～600℃连续可调,温区均匀性±5℃,具备充氮快速降温功能,整个工艺过程实现自动化控制。

论文目录

  • 1 功能用途与技术指标
  • 2 主要机械结构及原理
  •   2.1 真空系统
  •   2.2 烘烤加热系统
  •     2.2.1 分段式组合结构烘箱
  •     2.2.2 内部热区
  •   2.3 烘箱升降运动机构
  • 3 电气控制系统
  •   3.1 电气控制方案
  •   3.2 电气硬件组成
  • 4 设备实际运行情况
  • 5 结束语

    • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 边悦,刘春艳

    关键词: 环型正负电子对撞机项目,连续波速调管,特大型超高真空排气台,高温真空烘烤排气

    来源: 真空科学与技术学报 2019年12期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅱ辑

    专业: 工业通用技术及设备

    单位: 北京北方华创真空技术有限公司

    分类号: TB75

    DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.12.06

    页码: 1079-1082

    总页数: 4

    文件大小: 1119K

    下载量: 35

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    本文来源: https://www.lunwen66.cn/article/43c4e94359d6b99a0887228b.html