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X-Y直线电机精密运动平台的轮廓误差主动补偿

论文摘要

为了减小X-Y直线电机精密运动平台同步控制的轮廓误差,提高系统的控制精度,针对传统交叉耦合控制结构的不足,提出多电机控制系统的轮廓误差主动补偿结构。首先,以永磁同步直线电机为例分析单轴伺服定位跟踪误差,指出跟踪误差和位置参考有关,结合实际工况中参考指令的扰动,将耦合补偿量最终统一为参考指令的校正加入到系统中,提出轮廓误差主动补偿结构,将轮廓误差补偿量分别补偿到各轴伺服的位置环和速度环,并通过仿真和实验进行验证。结果表明:采用主动补偿方法的X-Y两轴运动平台跟踪大曲率复杂轨迹的轮廓误差平均值为20.68μm;单轴跟踪误差最大值为70μm。相比传统交叉耦合控制结构,主动补偿结构轮廓误差精度提高了15.5%,同时降低了单轴的跟踪误差,并能抑制参考指令扰动。

论文目录

  • 1 引言
  • 2 单轴定位跟踪误差分析
  • 3 轮廓误差主动补偿结构
  •   3.1主动补偿模型分析
  •     3.1.1轮廓误差和跟踪误差分析
  •     3.1.2扰动分析
  • 4 仿真分析
  • 5 实验验证
  • 6 结论

    • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 王荣坤,于作超,王杰

    关键词: 轮廓误差,主动补偿,运动平台,直线电机,跟踪误差

    来源: 光学精密工程 2019年07期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅱ辑

    专业: 电力工业

    单位: 华侨大学信息科学与工程学院

    基金: 国家自然科学基金资助项目(No.51707068),福建省自然科学基金资助项目(No.2017J01097)

    分类号: TM359.4

    页码: 1536-1543

    总页数: 8

    文件大小: 926K

    下载量: 186

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    本文来源: https://www.lunwen66.cn/article/4ada6bfbce5efe627a8d3a5a.html