导读:本文包含了叉指驱动论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:铣工,离子,工艺,论文。
高阳,李以贵,张俊峰[1]（2008）在《铜叉指换能器声表面波驱动装置的研究》一文中研究指出本实验中首次采用铜材料作为声表面波驱动装置的叉指换能器材料。对铜材料和铝材料进行了详细比较,得到铜材料相比于铝材料的优点。采用并详细对比了离子铣和剥离工艺两种制造工艺,实验表明剥离工艺效果更好。得到了利用剥离工艺制造的铜叉指换能器的原子力显微镜轮廓。制造了声表面波驱动装置并得到了优化的制造参数。(本文来源于《微细加工技术》期刊2008年05期）
[1].高阳,李以贵,张俊峰.铜叉指换能器声表面波驱动装置的研究[J].微细加工技术.2008
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