研究不同树脂结合剂对金刚石切割线切割性能的影响。分别采用纯酚醛树脂、环氧改性酚醛树脂、芳烷基改性酚醛树脂制备树脂固化硬度试样,并检测试样的肖氏硬度。用扫描电镜观察树脂固化后的试样断裂表面,发现不同树脂固化后的致密程度不同。分别制作金刚石切割线进行单晶硅切割实验。实验结果表明:采用固化硬度高、固化后致密性好的纯酚醛树脂制作的切割线在切割时的线弓最小,加切时间较短,金刚石颗粒不易脱落,切割能力强。
类型: 期刊论文
作者: 高伟,李军,马伯江,王东雪
关键词: 树脂固化,肖氏硬度,断裂表面,硅片切割
来源: 金刚石与磨料磨具工程 2019年01期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 化学,无机化工
单位: 青岛科技大学机电工程学院
基金: 山东省自然科学基金的资助(ZR2017MEE076)
分类号: O786;TQ127.2
DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.1.0013
页码: 72-75
总页数: 4
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本文来源: https://www.lunwen66.cn/article/75793232d4d55e68098aba7b.html