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环境微振动下超精密加工设备基础隔振分析

论文摘要

为研究超精密加工设备隔振基础的隔振效果,以某超精密加工设备为研究对象,设计了隔振系统,分析了系统在环境微振动下的振动响应,发现在x方向能得到很好的隔振效果。另外,通过调整隔振基础厚度和隔振弹簧刚度,分析了加工设备对外界环境微振动的响应变化情况。

论文目录

  • 0 引言
  • 1 隔振系统设计
  • 2 隔振系统振动响应分析
  • 3 压电陶瓷堆叠层数和上下表面电压差对隔振效果的影响
  • 4 结语
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 夏泓泉,范进,何嫣然,丁建国

    关键词: 超精密加工,环境振动,隔振基础,频域响应,隔振参数

    来源: 机械制造与自动化 2019年04期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅱ辑

    专业: 机械工业

    单位: 南京理工大学土木工程系

    分类号: TH16

    DOI: 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2019.04.009

    页码: 37-38+45

    总页数: 3

    文件大小: 490K

    下载量: 163

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    本文来源: https://www.lunwen66.cn/article/9423a68cafebe25143247c10.html