导读:本文包含了振幅型高温栅论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:高温,光刻,振幅,光栅,论文,云纹法。
谢惠民,王峰,戴福隆,王国韬[1]（1995）在《振幅型高温云纹光栅的制作工艺研究》一文中研究指出本文首次提出了双镀层振幅型高温云纹光栅的制作工艺，并应用此工艺在铍青铜、不锈钢材料上制作高温栅，并且分别进行了５５０℃长时间氧化实验和７５０℃的短时间氧化实验，实验结果表明，此工艺是可行的。(本文来源于《光学技术》期刊1995年05期）
[1].谢惠民,王峰,戴福隆,王国韬.振幅型高温云纹光栅的制作工艺研究[J].光学技术.1995
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