Print

显影系统供液设计研究

论文摘要

显影是半导体制造过程中的一道很重要的工艺环节,不同工艺使用的显影液不同。为实现多种显影液自动切换,并避免人工更换显影液造成的污染与浪费,且能够有效提高生产效率,设计了一种新型的显影供液系统,可自动切换两种不同浓度同种化学成分和不同化学成分共三种显影液,方便显影液供给,减少人工操作,避免人工换液造成的污染和浪费,能够更好地满足多种显影液频繁更换的需要。

论文目录

  • 1 供液系统设计
  • 2 显影液1供液流程
  • 3 显影液2供液流程
  • 4 显影液3供液流程
  • 5 结束语

    • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 郑如意,许南发,吕磊,刘玉倩

    关键词: 显影工艺,供液系统,自动切换

    来源: 电子工业专用设备 2019年06期

    年度: 2019

    分类: 信息科技

    专业: 无线电电子学

    单位: 中国电子科技集团公司第四十五研究所

    分类号: TN305

    页码: 40-44

    总页数: 5

    文件大小: 920K

    下载量: 18

    相关论文文献

    本文来源: https://www.lunwen66.cn/article/aedc91218f3b51c59b9973ce.html