铝由于其低密度和良好的导电导热性而被广泛应用于各个领域,其中具有群缝结构的铝微器件在微机电领域有着重要的应用前景,但铝箔的微细加工较困难。针对铝微缝结构的加工,提出一种基于硝酸钠乙二醇溶液的电解切割方法,分析了铝在不同溶剂的硝酸钠溶液中极化曲线的基础上,对电压、频率、占空比三个参数进行了试验研究,最终在铝箔表面加工出了总长2 mm、平均缝宽275.25μm、缝宽标准差6.53μm的"L"形微缝结构,微缝形貌良好且表面无杂散腐蚀。
类型: 期刊论文
作者: 朱嘉澄,房晓龙,高兵,曲宁松
关键词: 铝箔,微细加工,电解加工,微缝结构
来源: 电加工与模具 2019年05期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 金属学及金属工艺
单位: 南京航空航天大学机电学院
基金: 国家自然科学基金资助项目(51675274)
分类号: TG48
页码: 24-27+54
总页数: 5
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