Print

八氟环丁烷的纯化技术研究进展

论文摘要

随着电子工业的迅速发展,八氟环丁烷作为常用的半导体工艺蚀刻或清洗气体,其需求量日益增加,对其纯度要求也越来越苛刻。总结了现有应用最为广泛的四种八氟环丁烷纯化技术:精馏技术、吸附技术、化学转化法、膜分离技术,分析四种纯化技术各自优缺点。在实际生产中,根据八氟环丁烷中所含杂质的种类,选择合适纯化技术联用来获得高纯八氟环丁烷。此外,应不断开发新型、高效电子气体纯化技术,促进我国电子气体行业的发展。

论文目录

  • 0 引言
  • 1 物化性质
  • 2 制备技术
  •   2.1 四氟环丁烷电化学氟化法
  •   2.2 四氟乙烯裂解法
  •   2.3 氟氯烃裂解或共裂解法
  • 3 纯化技术
  •   3.1 精馏技术
  •   3.2 吸附分离技术
  •     3.2.1 活性炭
  •     3.2.2 金属氧化物
  •     3.2.3 分子筛
  •     3.2.4 其他吸附剂
  •   3.3 化学转化法
  •     3.3.1 催化反应
  •     3.3.2 分解反应
  •   3.4 膜分离技术
  • 4 结论

    • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 缪光武,张金柯,白占旗,何双材,胡欣,曾群,杜肖宾,刘武灿,张波

    关键词: 八氟环丁烷,纯化技术,电子气体

    来源: 低温与特气 2019年01期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑

    专业: 有机化工

    单位: 浙江省化工研究院有限公司

    分类号: TQ232

    页码: 1-5

    总页数: 5

    文件大小: 111K

    下载量: 140

    相关论文文献

    本文来源: https://www.lunwen66.cn/article/d3fff125a2cbaccfcef9b2d3.html