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基于MATLAB与非球面轮廓仪的Q-Type非球面检测技术

论文摘要

Q-type非球面广泛应用于光学系统设计中,针对Q-type非球面超精密加工过程中的面形检测问题,提出了一种MATLAB软件与Taylor Horbson PGI-1240非球面轮廓仪相结合的方法,以达到对Q-type非球面进行高精度检测的目的。检测结果表明,由Nanoform 700Ultra单点金刚石超精密车床加工的全口径为11.8mm的单晶铜Q-type非球面面形误差峰谷（PV）值为0.1963μm,表面粗糙度方均根（RMS）值为0.03412μm,满足加工第一阶段面形误差PV值<0.2μm和表面粗糙度RMS值<0.04μm的要求。此检测方法可以精确得到工件面形误差,为下一阶段车削加工提供数据支持。

论文目录

  • 1 引言
  • 2 Q-type非球面
  •   2.1 Q-type函数多项式的数学描述
  •   2.2 Q-type非球面表面的拟合
  • 3 Q-type非球面的检测
  • 4 结论

    • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 贾孟,薛常喜,李闯,兰喜瑞,王蕾,王伦,吴百融

    关键词: 测量,非球面检测,非球面轮廓仪,单点金刚石车削

    来源: 激光与光电子学进展 2019年15期

    年度: 2019

    分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑

    专业: 仪器仪表工业

    单位: 长春理工大学光电工程学院

    基金: 吉林省重点科技研发项目(20180201030GX)

    分类号: TH74

    页码: 111-116

    总页数: 6

    文件大小: 1551K

    下载量: 253

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    本文来源: https://www.lunwen66.cn/article/df2913e010b04ff2a816f251.html